Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 10 11 12 13 14 15 16... 423 424 425
|
|
|
|
даря этим преимуществам имплантация стала неотъемлемым техпроцессом получения кремниевых интегральных схем. Ионная имплантация хрома — хороший пример для обоснования технологической и стратегической важности метода. Хром — металл особой стратегической важности, поскольку страны — члены НАТО вынуждены импортировать свыше 90% используемого ими хрома. В сплавах хром распределен по всему объему материала, хотя в большинстве случаев достаточно поверхностного легирования. Естественно попытаться создать поверхностно-легированный сплав. По данным ВМС США, при регламентных проверках авиационных подшипников установлено, что основная причина выхода их из строя —коррозия. Коррозия вызывает также преждевременный катастрофический выход из строя и неприемлемо короткий допустимый срок хранения новых, неиспользованных подшипников. Для решения указанных проблем исследовательская лаборатория ВМС США в г. Вашингтоне провела исследования, которые показали, что ионная имплантация значительно увеличивает коррозионную стойкость подшипниковых сплавов как в лабораторных условиях, так и в условиях, приближенных к реальным. Отмечается также, что ионная имплантация не оказывает отрицательного влияния на усталостные свойства подшипников. На рис. 1.1 показана фотография вакуумной камеры, в которой установлены авиационные подшипники, имплантируемые ионами хрома энергией 150 кэВ. Пучок ионов падает слева и отблеск от самого левого подшипника объясняется испусканием света атомами, возбужденными при распылении поверхности. Имплантированные подшипники реактивных авиационных и вертолетных двигателей прошли стендовые испытания на долговечность в условиях (по скорости, нагрузке и температуре), приближенных к эксплуатационным. В настоящее время некоторые из подшипников проходят полевые испытания в авиации ВМС США. Проведенные исследо : ,.fl;ї^ис. 1.1. Легирование -V'*-^-.-^даг-^-^t^ "^W' "^^^лр^^ авиационных подшипни ков ионами хрома с г л г-\ -1энергией 150 кэВ 12
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 10 11 12 13 14 15 16... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
