Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 124 125 126 127 128 129 130... 423 424 425
|
|
|
|
теризует кремний в Si02. Измерения по методу резерфордовского обратного рассеяния в приповерхностной зоне дают оценку кон-ЦСітраций атомов кислорода и углерода 8,Ы0^^ и 3,5-10^^ см-^ соответственно. Облучение одним импульсом с плотностью энергии ^2,0 Дж/cм^ вызывает значительное снижение содержания кислорода и углерода в поверхностном слое. После же обработки пятью импульсами, Оже-спектр показывает, что концентрации кислорода я Углерода находятся на уровне фона и они ^0,1% монослоя (кривая 2). Кроме того, форма линии спектра в зоне ЗіЬг.з VV-ne-ре/юда (энергия 70...100 эВ) соответствует чистому кремнию. Хотя мегодом Оже-спектроскопии нельзя обнаружить водородный Оже-нереход, данные ФЭС свидетельствуют о том, что поверхностная зоїіа свободна и от водорода [61]. Таким образом, облучение поверхности несколькими лазерными импульсами снижает концент-радию кислорода и углерода на поверхности по меньшей мере в SO0 и 50 раз соответственно. Это снижение концентраций, достигаемое за время обработки примерно 30 не, сравнимо с результатами неоднократной очистки тлеющим разрядом при обычном термическом отжиге в течение нескольких дней. Было также изучено действие излучения импульсного лазера на образцы, которые были обработаны тлеющим разрядом в аргоне (эьергия 1000 эВ, ток 5 мА; время облучения 30 мин). Облучение образцов лазерными импульсами с плотностью энергии ^2 Дж/см^, таг же как и для необработанных разрядом образцов, привело к снижению в уровне Оже-сигналов, связанных с загрязнением поверхности кислородом и углеродом. Полное отсутствие признаков аргона в Оже-спектрометре при максимальной чувствительности анализатора наблюдалось уже после двух или трех импульсов. Кроме того, если атомарно-чистая поверхность выдерживалась в кислороде или окиси углерода, то ее можно было вновь сделать чистой лосле облучения пятью импульсами лазера. Влияние плотности энергии на эффективность удаления загряз-"нений было качественно исследовано в диапазоне 0,3 ...3,2 Дж/см^. При этом наблюдались две основные тенденции в характере такого влияния. Во-первых, чем выше была плотность энергии, тем боле интенсивно шла очистка в течение первого импульса Во-вторых, при любой плотности энергии чем больше было импульсов, тем более полной была очистка. При плотности энергии выше ^2,0 Дж/см2 после пяти импульсов дальнейших изменений в сте-лени очистки почти не наблюдалось. После 3,2 Дж/см^ наблюдалось видимое оптическими методами разрешение структуры. Чтобы по--лучить атомарно-чистые поверхности с помощью рубинового лазера, требуется плотность энергии более 1 Дж/см^. Имеются два варианта окончательной судьбы исходных загряз-Т1ЄНИЙ поверхности кислородом и углеродом. Заметное повышение давления, наблюдаемое при первом лазерном импульсе, свидетельствует о десорбции загрязнений с поверхности при облучении. Поскольку импульсный лазерный отжиг приводит к образованию про 126
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 124 125 126 127 128 129 130... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
