Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 121 122 123 124 125 126 127... 423 424 425
|
|
|
|
Рис. 4.27. Просвечивающие электронные микрофотографии в светлом поле, сви-детельствующне об увеличении глубины отжига с ростом плотности энергии лазерного импульса |[60]' с — 2 Дж/см2; б — 3 Дж/см2 лизация могут сопровождаться процессами выделения примесей и ИХ растворения, которые характеризуют новые режимы перекристаллизации. 4.2.10. Выводы по кристаллизации Лазерный отжиг имплантированного ионами кремния дает возможность фундаментальных исследований неравновесных процессов кристаллизации. Уровень понимания, который достигнут в отношении этих необычных условий кристаллизации, впечатляет, тем более, что первые исследования были выполнены всего несколько лег назад. Такие достижения были получены в результате того, что можно было использовать два дополняющих друг друга неравновесных метода обработки — ионную имплантацию и импульсный лазерный отжиг, обеспечивая выполнение экспериментов в контролируемых условиях. при быстрой жидко-фазной эпитаксиальной перекристаллизации имплантированные примеси элементов ПІ, V групп могут быть введены в кристаллическую решетку в таких концентрациях, которые на порядки превосходят равновесные пределы растворимости. Для многих случаев определены коэффициенты распределения примесей в кремнии на границе раздела фаз в зависимости от скорости перекристаллизации. Были развиты теоретические модели, которые количественно описывают процессы захвата примесей. Пределы растворимости замещения, которые достигаются при лазерном легировании, также оценены и выяснены факторы, их определяющие. Определенные экспериментально^ данные пределы ока 123
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 121 122 123 124 125 126 127... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
