Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 117 118 119 120 121 122 123... 423 424 425
|
|
|
|
настоящего времени эти теоретические предсказания не были уточнены в экспериментах, но с появлением лазерного отжига могут быть исследованы новые высокоскоростные режимы перекристаллизации. Корреляция между теорией и экспериментом может быть установлена несколькими методами. Например, можно рассмотреть общий диапазон условий, в которых сущ^'ствует стабильность или нестабильность границы раздела. Такой подход, предложенный в работе [17], иллюстрируется рис. 4.23, на котором критический параметр концентрации примеси mCs/{DG) представлен в зависимости от коэффициента сегрегации на границе раздела k, где т —угловой коэффициент линии ликвидуса для двойного сплава; Cs — концентрация примеси в кристалле; Gбезразмерный температурный градиент. Сплошными линиями на рис. 4.23 показаны теоретически рассчитанные границы между режимами стабильности и нестабильности в системе индий — кремний для трех различных скоростей перекристаллизации. Дополнительные данные, полученные экспериментально для кремния, имплантированного индием и подвергнутого лазерному отжигу. mCs , с/см также приведены на рис. 4.23. Очевидно, что экспериментально полученные границы, лежащие на рисуцке между точками, помеченным!^ крестиками и треугольниками, весьма близки к теоретн Рис. 4.23. Критический параметр концентрации в зависимости от коэффициента сегрегации. Кривые соответствуют расчетным границам между стабильным и нестабильным режимами, точки {I — наличие я^еек, 2 — отсутствие ячеек) — экспериментальным данным {17]: игр — плоская граница раздела; ЯС — ячеистая структура Рис. 4.24. График размера ячеистых структур при наступлении нестабильности границы раздела в зависимости от скорости перекристаллизадии системы индий—кремний. Кривые построены для различнь/х значений коэффициента сегрегации, а точкой отмечены экспериментальные данные [16] 119
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 117 118 119 120 121 122 123... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
