Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 9 10 11 12 13 14 15... 423 424 425
|
|
|
|
Глава 1. Обзор методов модифицирования поверхности Цж. М, Поут, Лаборатории фирмы "Белл", Мюррей-Хилл, штат Нью-Джерси Г. Фоти, Институт материаловедения, университет Катании, Италия По материалам: Дж, Хирвонен, В. Хофер, А. Д. Марвик 1.1. Введение Поверхность определяет многие свойства твердых тел, начиная от их внешнего вида и заканчивая прочностью. Не вызывает сомнения значение структуры и свойств поверхностей и приповерхностных слоев твердых тел для науки и техники. Можно привести многочисленные примеры из таких областей знаний, как катализ, получение полупроводников, металлургия. Каталитические свойства определяются составом поверхности и ее структурой. В полупроводниках электрические свойства зависят от состава и структуры поверхностного слоя толщиной 1 мкм. Износостойкость и коррозионная стойкость металлов также определяются составом и структурой поверхностных слоев. Из приведенных примеров ясно, что технологические процессы, позволяющие регулировать или перестраивать поверхностные слои, имеют большое будущее. в течение последнего десятилетия были разработаны новые способы модифицирования поверхностных слоев. Во-первых, сегодня мы можем получать лазерные и электронные пучки энергией, достаточной для разогрева и оплавления больших участков поверхности за весьма короткое время. Скорости нагрева и охлаждения при использовании импульсных лазеров достаточно высоки для образования новых метастабильных сплавов, что позволяет говорить о появлении нового способа осуществления быстрого роста кристаллов. Во-вторых, появились методы ионной имплантации и ионного перемешивания, позволяющие вводить посторонние атомы непосредственно в поверхностные слои твердых тел. Их развитие на сегодня позволяет получать достаточно высокие концентрации и существенные глубины проникновения примесных атомов. Важным преимуществом имплантации является отсутствие обычных термодинамических ограничений на возможность легирования. Набор различных методов модифицирования поверхности — мощное оружие в арсенале науки о материалах. Вместе с тем необходимо исследование новых материалов и новых явлений при легировании. Движущими силами исследований ионной имплантации являются уникальные возможности, предоставляемые методом. Речь идет о контроле и воспроизводимости структуры и состава внешнего слоя толщиной ^ 1 мкм с чрезвычайно большой точностью. Благо 11
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 9 10 11 12 13 14 15... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
