Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 116 117 118 119 120 121 122... 423 424 425
|
|
|
|
ди1Ш|Дд|| НИ гг Рис. 4.22. Просвечивающие злектрон^і^іе микрофотографии и дифракцио^^ные картины поверхности кремния (100), имплантированного ионами индия с д^зой 1,25-10^^ см-2 и отожженного HM^jy^j^^OM лазера с плотностью эн^^^рии 1,57 Дж/см^ {161:'^^""'^ а ^ячеистая структура; б — дифракционно^ картина, выявившая рефлексы Si и Ш; темнопольное изображение с рефлексами ^ г — схематическое изображение Дифраііі,„о„. ной картины-^"""^ диапазоне скоростей роста кр^еталлов (10~^.. 10-2 см/с), при котором нарушение границы раздала происходит в масштабе ^/у где D — коэффициент диффузиї^ примеси в жидком кремнии, а скорость кристаллизации. Указанное нарушение происходит то^д^ когда дестабилизирующее действие перераспределения примеси ^pgl обладает над стабилнзирующИ|^^ действием термических град^^ен-тов в системе. Однако при оче^^^ больших скоростях кристаллцз^, ции, которыми характеризуете^ процесс лазерного отжига, т^^ас-штаб длины волны возмущениестановится очень мальщ ^ деформируемая граница разде^^^ имеет большую кривизну. приводит к сильной стабилизацией ^од действием эффекта Гиббс^_ Томсона [57]. В результате тре^уе^ся очень большая степень i^qh центрационного переохлаждения для того, чтобы нарушение Тр^-ницы раздела приводило к образованию ячеек сегрегации. Кроме того, в уяззвяві^.^ j^rcjjDBJ^^ ^a^i^^yj^ роль играет сильная завиден-кость коэффициента сегрегации Cj^. скорости перекристаллизации. До. 118
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 116 117 118 119 120 121 122... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
