Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 115 116 117 118 119 120 121... 423 424 425
|
|
|
|
Рис. 4.21. Просвечивающие электронные микрофотографии и картины рентгенов-сйгой дифракай-йкремния с ориентацией Ш0, нмплантрованного ионами железа с дозой 5-10^^ см~2 при энергии 150 кэВ [52]: й, б — поперечное сечение образца сразу после имплантации н после лазерного отжига с плотностью энергии 2,2 Дж/см^ соответственно; в — снимок поверхности отожженного образца с ячеистой структурой в светлом поле; г — то же. в темнол поле с использованием рефлекса по §д — FeSiz, показанного стрелкой на дифракционной Кіртине (д) Образование ячеистых структур при лазерком отжиге слоев кремния, содержащих примеси, наблюд.^'^ось и в случаях использования таких примесей, как платина, медь или кобальт. Наиболее тщательному изучению подвергалась система имплантированный индий — кремний с ориентацией 100 [16, 17]. Сегрегационные ячейки, образованные в такой системе при обработке ее лазером с модулированной добротностью при плотности энергии 1,6 Дж/см2, показаны на рис, 4.22, а. В даннор^ случае также методом электронной дифракции была идентифицирована выделившаяся из кремнии вторичная фаза в виде металлического индия (рис. 22, б). Более того, тщательное измерение стенок ячеек и регулирование условий отжига позволили показать применимость теории морфологической стабильности МаллиЕса и Секерки [56] к эволюции ячеек. Теория экспериментально проверена в обычном 117
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 115 116 117 118 119 120 121... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
