Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 113 114 115 116 117 118 119... 423 424 425
|
|
|
|
4.4. Максимальные значения концентраций примесей замещения Се"^^"", полученные при скоростях кристаллизации 4,5 и 6 м/с, в сравнении с равновесными значениями Cs° и значениями, соответствующими термодинамическим ограничениям Cs^ Примесь с/, см~з (и =4,5 м/с), см-з (и = 6,0 м/с), см-з С^і, см-з As 1,5-1021 6,0-10^^ 5-1021 Sb 2,0 МІ 021 6,0 1021 ^3-1021 Ga 4,5-10^9 4,5 1020 8,8-10^0 б-ІО^^ In 8,0*1017 Д,5-'1020 2,8-1020 2 1021 Bi 8,0-1017 4,0-1020 1,1-1021 1-1021 риментально определенные растворимости, близкие к прогнозируемым из термодинамических ограничений. Растворимости, определенные для примесей с относительно низкими значениями k' (Ga, In), несколько ниже прогнозируемых, но по величине одного по-рядка с ними. Для галлия, индия и висмута значения , полученные при скорости 6 м/с, в 2—3 раза больше, чем значения, полученные при скорости перекристаллизации 4,5 м/с. Эти значения еще ограничиваются нестабильностью границы раздела при перекристаллизации, но они указывают на то, что при больших скоростях кристаллизации наступление нестабильности может задерживаться до тех пор, пока на границе раздела не накопится примесь в большей концентраций, как это следовало из обсуждения, в п. 4.2.7. Важно отметить, что при скорости перекристаллизации ^6 м/с концентрация висмута в узлах замещения решетки превышает равновесный предел растворимости более чем на три порядка. Для мышьяка, имплантированного в кремний (см. табл. 4.4) изменение максимальной концентрации атомов замещения при увеличении скорости перекристаллизации от 4,5 до 6 м/с не происходит. Это свидетельствует о возможном достижении термодинамического предела растворимости мышьяка в кремнии, что вполне вероятно, так как определенное значение k' в этом случае ^1,0 (см. табл. 4.1), Тот факт, что Cf^"" превышает прогнозируемый из термодинамических соображений предел, объясняется, возможно, неточностями равновесной фазовой диаграммы, по которой этот предел был предсказан. При другом методическом подходе к прогнозированию максимальных растворимостей примесей замещения было принято, что Cf^'^^Clk'lk^ [44,50]. Уравнение соответствует предположению, что можно построить кинетическую фазовую диаграмму, соответствующую высоким скоростям перекристаллизации, достигаемым при лазерном отжиге, простым смещением равновесной линии солидуса в область более высоких концентраций примеси, соответ 115
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 113 114 115 116 117 118 119... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
