Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 112 113 114 115 116 117 118... 423 424 425
|
|
|
|
СостаВ а) Рис. 4.20. Схема, поясняющая использование методики определения термодинамического предела захвата примеси* а ~ зависимость свободной энергии от состава; б — фазове^я диаграмма; / — температура начала снижения растворимости; Ж — жидкость; ТТ — твердое тело дающие такую трактовку процесса данные имеются и будут обсуждены ниже. Кроме ограничений, накладываемых на концентрацию примеси замещения из-за деформации кристаллической решетки и нестабильности границы раздела при перекристаллизации (концентрационного переохлаждения), имеются и прогнозируемые термодинамические ограничения захвата примеси в кремнии [45]. Идеи, служащие основой таких ограничений, иллюстрируются схематически на рис. 4.20. На этом графике гиббсовской свободной энергии, представленной в зависимости от состава при заданной температуре, линии солидуса и ликвидуса пересекаются в одной точке, являющейся верхним пределом концентрации примеси в твердой фазе. Данная предельная концентрация может реализоваться при любом составе жидкой фазы, если не требуется выделения зародышей кремния в процессе лазерного отжига. Геометрическим местом предельных точек на равновесной фазовой диаграмме при различных температурах будет кривая Го, ограничивающая максимальные концентрации примеси в твердой фазе, которая образуется из жидкости при любой температуре, даже с бесконечной скоростью лерекристаллизации. Таким образом, кривая То определяет термодинамическую границу бездиффузионного затвердевания. Для сис-т^ем с растворимостью, убывающей с уменьшением температуры, термодинамические соображения могут быть использованы для простой оценки максимальной концентрации С1 по кривой Го. Эта максимальная концентрация на кривой Го будет соответствовать концентрации на линии ликвидуса при температуре начала снижения растворимости [45]. Прогнозируемые значения СІ для пяти примесей в кремнии [45] приведены в табл. 4,4 в сравнении с измеренными значениями максимальных растворимостей примесей замещения Cj"^^ полученными при двух различных скоростях перекристаллизации [15]. Лазерный отжиг при температурах 300 и 77 К реализует скорости кристаллизации 4,5 и 6 м/с. При любой из этих скоростей значения СТ^ близки к прогнозируемым по термодинамическим ограничениям для захвата примеси. Примеси, у которых коэффициенты k' очень близки к единице (As и Sb взяты из табл. 4.1), имеют экспе П4
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 112 113 114 115 116 117 118... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
