Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 106 107 108 109 110 111 112... 423 424 425
|
|
|
|
Полагая, что поверхность раздела фаз имеет свойства, промежуточные между двумя соседними фазами, можно принять £)^~1^/)5^^, где индексы S и / относятся к твердой и жидкой фазам соответственно. Коэффициенты диффузии рассчитываются при температуре границы раздела, которая близка к температуре плавления. Di имеет порядок 10-^ смус для любой примеси в кремнии, Ds может меняться от 10~^ см^/с для примесей с малой и большой подвижно-стями. При этих предпосылках для скорости движения границы раздела v^p получаются примерно равными от нескольких сантиметров до нескольких метров в секунду у примесей с малыми и большими скоростями диффузии в кремнии, что хорошо согласуется с экспериментальными данными. Простое описание, приведенное выше, недостаточно для того, чтобы рассчитать величину к' в зависимости от скорости кристаллизации. Оно должно быть дополнено более детальными моделями. Можно привести следуюпхие примеры таких моделей. Модель Джиндалла и Тиллера [30], которая хорошо работает в области высоких скоростей, но не выполняется при низких. Данная модель позволяет рассчитать точное значение Укр и ее зависимость от Ds. Модель Бейкера и Кана [29], представляюп;ая собой термодинамический подход к неравновесному затвердеванию, формулирующий весьма общие условия протекания захвата примесей. Модель Вуда [40], которая базируется на кинетических уравнениях в предположении об очень толстой граничной зоне со свойствами, постепенно меняющимися между значениями граничащих фаз, и зависящей от скорости высотой барьера, используемой в качестве параметра аппроксимации. Многие другие параметры могут быть включены в рамки модели для того, чтобы получить лучшее соответствие с опытными данными. По этой модели получаются завышенные оценки коэффициентов распределения для быстро диффундирующих примесей, таких, как медь и серебро. Модель Джексона, предложенная в 1982 г. , основанная на кинетических уравнениях. По этой модели рассчитано значение ^нас для висмута и ориентационная зависимость. Более детальное описание ее приведено в гл. 3. в дополнение к указанным моделям имеются две недавно предложенные трактовки захвата примесей в кремнии [41, 42]. 4.2.6. Образование пересыщенных сплавов, максимальные растворимости примесей замещения При возрастании дозы или концентрации для каждой группы примесей ПІ, V групп имеется максимальная величина С^^^, которая может наблюдаться при образовании узлов замещения в решетке кремния при лазерном отжиге [10]. Этот факт иллюстрируется рис. 4Л7 в случае распределения сурьмы в кремнии, которое 108
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 106 107 108 109 110 111 112... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
