Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 105 106 107 108 109 110 111... 423 424 425
|
|
|
|
Рйс, 4.16. Экспериментальные профили концентрации свинца, имплантированного при энергии 40 кэВ с доаой атомов 5* 10** см"^ в кремний с ориедтацйей 111 (а) и с дозой атомов З-Ю^^ ^^^^і-^ в поверхность германия (111) (б) и обработанного импульсным рубиновым лазером с плотностью энергии 1,7 (а) и 0,85 (б) Дж/см^. В кремнии свинец не проявляет эффекта каналирования для направления И1, тогда как в германии общий н каналированный (треугольники) спектры разлиі{аются, свидетельствуя об образовании узлов замещения: Rp — глубина залегания максимальной концентрации фордовского обратного рассеяния свидетельствуют о полной сегрегации цинка на поверхности кремния, в то же время данные индуцированной ионами рентгеновской флюоресценции говорят о том, что в германии проявляется частичное каналирование, свидетельствующее о замещении. Доза атомов замещения составляла 2,5-10^^ см-2, тогда как доза атомов имплантации была равна 10^^ см^^. Профиль концентрации весьма схож с аналогичным профилем свинца в германии, и значения намного превышают равновесную величину ko для цинка, имплантированного в германий. Таким образом, очевидно, что в данном диапазоне скоростей может осуществляться захват примесей, характеризуемых малыми коэффициентами твердофазной диффузии, тогда как примеси с большими коэффициентами диффузии сегрегируют к поверхностям образцов. Описание процесса захвата с точки зрения конкуренции между кинетикой движения границы фаз и примеси было выполнено Терябаллом [38] я усовершенствовано К^мпизано с соавторами [391 Время, необходимое для того, чтобы перекристаллизовался слой, равный по толщине границе раздела, ti^X/v сравнивалось со средним временем, в течение которого примесь находилась в этой зоне td=^'h?'l Di, где Д-— коэффициент диффузии в зоне границы раздела. Захват осуществляется, если примесь остается в размытой зоне межфазной границы дольше, чем требуется времени для кристаллизация, т. е. если ^г/^. в противоположном случае, примесь отбрасывается в фазу с более высокой растворимостью, т. е. в жидкость. Критическая скорость определится выражением 'Укр=АД-(4.6) 107
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 105 106 107 108 109 110 111... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
