Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 104 105 106 107 108 109 110... 423 424 425
|
|
|
|
на рис. 4.15 [14]. Коэффициент k', определенный для подложки с ориентацией 111, выше, чем соответствующее значение для подложки с ориентацией 100. Это различие тем больше, чем ниже скорость, тогда как при скоростях свыше 3 м/с значения совпадают, стремясь в пределе к 0,3. Вариация k' для различно ориентированных подложек, по-видимому, объясняется различием в степенях переохлаждения на поверхностях с ориентациями (100) и 111, что обсуждалось в гл. 3. 4,2.5. дополнительные параметры, влияющие на Тенденция, схематически показанная нарис. 4.7, является общей. Однако само значение Укр зависит от вида примеси. Для таких примесей, как железо, медь и серебро, в кремнии невозможно получить скорости, при которых /г'0,05. Считают, что для таких примесей k'^k^ в обычно исследуемом диапазоне скоростей. Общей чертой для указанных выше систем является тот факт, что у них }£оэффмцвевт дяффузт з твердо.)^ фззе высок, л МОЖВО ПреД1)0^1Э~ гать, что этот параметр определяет значение Укр. Чтобы проверить это предположение, Баери и Баі:)барино в 1982 г. провели опыты с использованием германиевых и кремниевых подложек. Примеси, характеризуемые медленной диффузией в твердой фазе этих подложек, например, теллур или сурьма, сильно захватываются и кремнием, и германием при концентрациях, значительно превышающих равновесную растворимость. Значения удовлетворяющие профилям концентрации примеси^ выше соответствующих значений ^0. Некоторые примеси, в частности свинец и цинк, различаются по коэффициентам твердофазной диффузии в кремнии и германии. У них малый коэффициент диффузци в германии и большой в кремнии. Данные для свинца, импланті^рованного в германий и кремний, затем подвергнутые лазерному отжигу, показаны на рис. 4.16. Профиль концентрации свинца в кремнии свидетельствует о сильном накоплении примеси у noBepxHOCit^H после лазерного облучения. Небольшая часть примеси, которауі не сегрегирована, не проявляет и эффекта каналирования, что свидетельствует об отсутствии ее в узлах кристаллической решеткії. Количество оставшегося свинца сильно зависит от плотности энергии лазерного импульса, т. е. от скорости движения межфазной границы. Такое поведение хорошо объясняется с точки зрения межфазной нестабильности из-за концентрационного переохлаждения, как будет показано ниже в этой главе. В то же время для свинца в германии остающееся количество примесей в кристаллической решетке в виде атомов замещения значительно превышает предел растворимости. Профиль примеси аппроксимируется при значении й' = 0,2, что намного выше равновесного ^о^1,7-10~^. Аналогичные результаты получены в экспериментах с цинком, имплантированным в кремний и германий. Данные анализа резер 106
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 104 105 106 107 108 109 110... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
