Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными пучками
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 98 99 100 101 102 103 104... 423 424 425
|
|
|
|
пределекне. в общем, случае прк снижении температуры подложки скорость кристаллизации увеличивается. Расчетная зависимость скорости движения межфазной границы от длительности импульса и плотности энергии показана на рис. 4.8 для облучения слоя аморфного кремния толщиной 1000 А на монокристаллической подложке при использовании рубинового лазера [27, 32]. При длительности импульса 15 не требуется плотность энергии 0,7 Дж/см^ для того, чтобы проплавить аморфный слой, и соответствующая скорость затвердевания при этом равна б м/с. При увеличении плотности энергии до 1 Дж/см^ глубина про-плавления растет до 2200 А, но скорость затвердевания снижается до 4 м/с. Точные расчеты кинетики процессов на границе раздела жидкость—твердая фаза показывают, что скорость затвердевания зависит от положения границы раздела, как показано сплошными линиями на рис. 4.9 [32], Скорость принимает максимальное значение в начале процесса затвердевания, а затем падает из-за уменьшения термических градиентов в твердой фазе. Значения, относившиеся к предыдущим данным, показанным на рис. 15 10 1 1 0 0.05 0,10 0.15 Рис. 4.8. Расчетная скорость границы раздела v в зависимости от максимальной глубины проплавлення h для трех длительностей импульсов рубинового лазера при обработке кремния. Скорости вычислялись во внешнем слое толщиной о 1000 А, который имел исходную аморфную структуру {27, 32]: АС — аморфный слой Рис. 4.9. Скорости движения границы раздела жидкой и твердой фаз, вычисленные в зависимости от глубины проплавлення (ГП) для двух режимов облучения: а — итдпулъсы улътрафи^детового лааера с длительностью 2,5 не и плотностью энергии 0,55 Дж/ем^; б — импульсы лазерного излучения с длиной волны 0,53 мкм, длит є;ль но стью 10 НС и плотностью энергии 15 Дж/см^; / — результаты расчета в предположении, что затвердевание протекает с переохлаждением на границе раздела 15 К * с/м. 100
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 98 99 100 101 102 103 104... 423 424 425
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
