Пьезоэлектрические сенсорные
системы можно использовать совместно с МЭМС и оптоволоконными
датчиками. Отметим, что они могут решать обратную задачу, преобразуя
электрическое поле в механическое напряжение, возбуждая
ультразвуковую волну. Пьезоэлектрические полимеры наносят на волокна для
измерения величины электрического поля, а некоторые материалы,
преимущественно окись цинка, используют как источники и датчики
ультразвука совместно с МЭМС. Кристаллические пьезоэлектрики вроде
ниобата лития и пьезокерамик также использовали в качестве источников
и датчиков ультразвука в не слишком маленьких МЭМС.
В интеллектуальных системах
пьезоэлектрики применяют в следующем качестве (рис.
2.18):
• детекторов давления или деформации, обычно
пьезокерамических;
• датчиков, дающих интегральную информацию о
поведении целой области. Как правило, их делают из
пьезополимера;
• сенсоров, которые с помощью микроканалов связи
информируют о давлении во многих точках поверхности. Для этого
используют полимерные пленочные пьезоэлектрики.
Отметим, что в настоящее время
область применения пьезоэлектри-ков интенсивно расширяется.
2.3.6. Поверхностные пленки и нити
Сенсоры в виде поверхностного
покрытия известны уже достаточно давно. Например, покрытия, изменяющие
цвет под действием внешнего воздействия. Обычно такие покрытия и
аналогичные им ткани не позволяют получить точной количественной
информации. Однако часто требуется лишь качественная информация о
достижении контроли-
