Новые интеллектуальные материалы и конструкции. Свойства и применение

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу Новые интеллектуальные материалы и конструкции. Свойства и применение

Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .

Страницы: 1 2 3... 26 27 28 29 30 31 32... 220 221 222

	 2.3. Датчики 3 I Рис. 2.16. Изменение резонансной частоты моста текущей жидкостью, ускорением, химическими реакциями и т.д. щей силы. При этом он может иметь также форму балки. Достоинством кремния является исключительная линейность, без сколько-нибудь су­щественного механического гистерезиса. Большой интерес представляют также МЭМС на основе гироскопи­ческого измерительного элемента. Принцип их работы основан на дей­ствии кориолисовой центробежной силы. Эта сила модулирует резо­нансную частоту колебаний вращающегося элемента в форме кольца или бокала (скорость вращения нужно измерить). Сила Кориолиса при­водит к различному изменению резонансных частот по двум направле­ниям в плоскости вращения, причем разность резонансных частот про­порциональна скорости вращения. Одним из достоинств таких гироскопов является отсутствие вращающихся подшипников. МЭМС с колебательным элементом в форме бокала разрабатывали по крайней мере 25 лет, но несмотря на это он не нашел широкого применения до сих пор. Это обусловлено тем, что для получения высокой чувствитель­ности необходима чрезвычайно высокая точность производства дета­лей. Производство осуществляется с допусками до сотен или даже ты­сяч слоев кремния, но чувствительность датчика ограничена малой массой. Тем не менее микромеханический кремниевый гироскоп еще не раскрыл весь свой потенциал. В интеллектуальных структурах МЭМС дополняют и отчасти конку­рируют с волоконными датчиками. МЭМС-датчики очень малы, а их положение точно известно. При этом в одном чипе можно разместить несколько датчиков, выполняющих различные измерения. Эта особен­ность датчиков используется пока мало, несмотря на очевидный потен­циал применения, например в медицине. МЭМС-датчики потенциаль­но недороги, и их стоимость определяется в основном стоимостью rss Карта

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу