Новые интеллектуальные материалы и конструкции. Свойства и применение

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу Новые интеллектуальные материалы и конструкции. Свойства и применение

Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .

Страницы: 1 2 3... 23 24 25 26 27 28 29... 220 221 222

	 Глава 2 Системы датчиков 2.3.4. Микроэлектромеханические системы Термин «МЭМС» переводится как «микроэлектромеханические сис­темы». К ним относятся и микромеханические датчики. По суще­ству, их получение основано на модификации метода фотолитогра­фического создания плоских и пространственных структур. Фотолитография — это целая группа процессов, среди которых есть простые типа фотокопирования и более сложные, например лазер­ная запись. Фотокопирование позволяет создать на обрабатываемом изделии некоторую структуру. Она может быть как двумерной, т.е. представлять собой некоторое изображение, так и трехмерной. Эти структуры обычно получают химическим травлением, однако иногда используют и дополнительные приемы. Например, лазерный, элект­ронный или ионный пучок, ускоряющий скорость химической реак­ции. Отметим, что скорость травления может сильно зависеть от на­личия допирующих добавок. Кроме того, на скорость травления могут влиять свойства кристаллической подложки. Список способов трав­ления можно пополнить влажным и сухим травлением, фотопроцес­сами и т.д. На практике получаемые травлением структуры обычно являются двумерными и имеют большую площадь в плоскости под­ложки при относительно небольшой толщине (рис. 2.13). Напротив, методом LIGA, использующим ядерную радиацию, можно создавать неплоские призматические структуры в направлении, перпендику­лярном плоскости подложки. Рис. 2.13. Принцип создания МЭМС-структур. rss Карта

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу