3.2. Електронні гармати
Електронна гармата є основним
вузлом будь-якої технологічної установки. Вона створює електронний
промінь і керує його параметрами. Тому до її складу входять катод
(емітер), фокусуючий прикатодний електрод і анод (але останній може
бути й відсутнім).
Часто до складу електронної
гармати відносять також вузли, які фокусують утворений промінь,
забезпечують його проведення із збереженням потрібних параметрів до
оброблюваної поверхні та, якщо потрібно, відхиляють його в певному
напрямі, хоч їх можна виділити окремо - в систему фокусування та
відхилення пучка.
Спільними для цієї системи та
власне електронної гармати є умови роботи: у глибокому вакуумі; при
електричній напрузі, що досягає сотень кілоВольт; необхідність
забезпечення та збереження при роботі високої точності
конструкції.
Специфічними для електронної
гармати є такі умови роботи:
- висока температура деталей, зумовлена
нагріванням катода та можливим бомбардуванням їх електронами;
- необхідність швидкого та простого розбирання та
збирання при заміні деталей, що вийшли з ладу, у першу чергу
катода.
Існує багато конструкцій
електронних випромінювачів:
- аксіального типу, коли всі елементи конструкція,
отже, електростатичне поле і сам пучок мають осьову
симетрію;
- так звані щілинні гармати, які формують пучок
прямокутного перерізу, де ширина значно більша за
товщину;
- кільцеві гармати, де катод має форму кільця, а
анодом є оброблюваний виріб;
- магнетронні гармати, в яких для формування пучка
використовуються магнітні поля в області катод — анод
тощо.
