Машиностроение. Энциклопедия Оборудование для сварки
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 435 436 437 438 439 440 441... 494 495 496
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Глава 1. НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
|
|
|
|
|
|
|
|
Оборудование для термического испарения
сжатой дугой низкого давления представлено
установкой У-304, предназначенной для ме-
таллизации элементов керамических конденса-
торов (рис. 1.14, г).
Ниже приведена техническая характери-
|
Электронно-лучевой испаритель
Напряжение, кВ.....................10
Сила тока, А.........................1
ВЧ—ионизатор
Рабочая частота, мГц................27,2
Мощность, кВт......................5,5
Напряжение смещения на подложке, кВ 1...4
Плотность ионного тока на подложке,
мА/см2.............................2
|
|
|
|
стика установки У-304.
Сила тока дуги, А................ 50...300
Напряжение на дуге, В.............20..40
Сила ионного тока, мА............ 50...500
Давление в рабочей камере, Па .... 0,5- Ю-2
Расход газа, л/мин...........(0,2... 1) • Ю-1
Размеры изделия, мм............150 х 150
Потребляемая мощность, кВ • А.........30
Длительность рабочего цикла, ч.........0,6
|
|
|
|
Оборудование для электроискрового легиро-
вания. Электроискровое легирование поверх-
ности производится с помощью универсаль-
ных и специализированных установок (искро-
вых генераторов), которые относятся к классу
электромеханических устройств [23, 24]. Со-
ставными частями этих установок являются
генератор импульсов тока и электродная ком-
мутирующая система. В качестве материала
для легирования используют электроды или
порошки. Обобщенная структурная схема ус-
тановки для ЭИЛ представлена на рис. 1.15.
По качеству поверхности оборудование для
электроискрового легирования подразделяет-
ся на установки для чистового (Яг < 80 мкм) и
грубого (Яг > 80 мкм) легирования, по уровню
механизации — на ручные, механизированные
и автоматизированные.
Техническая характеристика установок
для ручного электроискрового легирования
электродами представлена в табл. 1.13.
Механизированные и автоматизированные
установки электроискрового легирования в ос-
новном являются специализированным обору-
дованием для упрочнения конкретных видов
|
|
|
|
Оборудование для ионного распыления в плаз-
ме дуги с термокатодом имеет схему, анало-
гичную рассмотренной выше (рис. 1.14, г).
Примером являются установки У-842 и
УРМЗ.279.035 [21]. Установка У-842 предна-
значена для металлизации полосковых плат, а
установка УРМЗ.279.035 — для металлизации
гибридных интегральных микросхем
(табл. 1.12).
Оборудование для термоионного нанесения
покрытий представлено автоматической уста-
новкой УВН-ЭИП 17/4-001 с групповой обра-
боткой подложек, используемой при изготов-
лении полупроводниковых схем, СВЧ-транзи-
сторов [2] (рис. 1.14, д). В качестве покрытий
напыляют алюминий, медь, титан, кремний.
Техническая характеристика приведена ниже.
|
|
|
|
|
|
|
|
1.12. Техническая характеристика установок для ионного распыления в плазме дуги с термокатодом
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Число распылительных устройств
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Отрицательный потенциал на мишени, кВ
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Потребляемая мощность, кВт
|
|
|
|
|
|
Длительность рабочего цикла, ч
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1.13. Техническая характеристика установок для ручного электроискрового легирования марки
"Элитрон"
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Потребляемая мощность, кВ А
Сила рабочего тока, А
Производительность, см2/мин
Толщина слоя покрытия, мм
Параметр шероховатости покрытия
Яг, мкм
Габаритные размеры, мм
Масса, кг
|
0,16
0,3...1,4
ДоЗ
0,01...0,1
40
360x275x160
12
|
0,25
0,6...1,6
ДоЗ
До 0,03
8...25
435x320x170
20
|
До 0,4
0,5...3
До 5
0,01...0,12
80
450x315x170
22
|
До 3,5
До 10
0,01...0,2
40...160
890x620x415
160
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 435 436 437 438 439 440 441... 494 495 496
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
