Материаловедение

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу Материаловедение

Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .

Страницы: 1 2 3... 349 350 351 352 353 354 355... 382 383 384

	 352 Материалы, применяемые в машине- и приборостроении фузионный методы и ионное легирова­ние в тлеющем разряде. При диффузионном методе легирую­щая примесь попадает в пластинку полупроводника в результате диффузии из газовой фазы, в состав которой вхо­дит легирующая примесь. Так, для диф­фузии донорной примеси-фосфора в дырочный германий используют со­единение, которое при нагреве испаряет­ся, переносится потоком аргона в зону диффузии с более высокой температу­рой и там диссоциирует с образованием активного атомарного фосфора. На поверхности пластины фосфор взаимодействует с атомами полупро­водника и диффундирует в германий, образуя с ним твердый раствор замеще­ния. Возможность диффузии атомов ле­гирующей примеси обусловлена нали­чием в полупроводнике точечных дефек­тов (вакансий). Этот метод дает хорошую воспроиз­водимость основных характеристик, что позволяет его использовать в серийном производстве. Кроме этого, он дает воз­можность вводить примеси совместно, используя различные коэффициенты диффузии вводимых веществ. При диф­фузии донорной примеси в пластинке германия с р-проводимостью на некото­ром расстоянии от поверхности возни­кает г>-п-переход (рис. 17.20). Меняя температуру процесса и время выдерж­ки, можно получать р-и-переход на лю­бой глубине. Рис. 17.21. Образование р- -п—р-переходов путем диффузии сурьмы и галлия в германий р-типа Метод диффузии позволяет получать сразу несколько р-п-переходов в одной пластине. В этом случае газовая среда должна содержать и донорную Л/п, и ак­цепторную Nр примеси. Коэффициенты диффузии донорных примесей для гер­мания больше, чем акцепторных. В кремнии, наоборот, акцепторные при­меси диффундируют быстрее. На рис. 17.21 показана диффузия в ды­рочный германий акцепторной (Оа) и донорной (8Ь) примесей. Скорость диффузии донорной примеси больше, а поэтому она распространяется на большую глубину. При таком методе в наружном р-слое распределение при­меси неравномерно. Кроме того, около р-п-перехода концентрация примеси из­меняется плавно, что ухудшает характе­ристики прибора. Этих недостатков ли­шен р-и-р-переход, полученный на гер­мании или кремнии сплавно-диффу-зионным методом. При сплавно-диффузионном методе на пластину германия с р-проводимостью помещают шарик из сплава на основе свинца с примесью галлия (акцептор) Рис. 17.20. Образование р—и-перехода путем диффузии сурьмы в германии р-типа rss Карта

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу