22.6. Последовательность
омрадой процесса а >. » ч<
<
плазменного
азотирования 1 »-'.,» «а-
Процесс плазменного азотирования
не отличается от других про-цессов азотирования и включает следующие
операции: 1) очистка деталей; 2) загрузка печи; 3) откачка и нагрев; 4)
азотирование или карбонитрирование; 5) охлаждение деталей в вакууме или в
среде защитного газа; 6) выгрузка деталей из печи.
Для проведения плазменного
азотирования следует также учитывать приведенные в гл. 3 указания по
очистке деталей. На поверхности деталей не должно быть органических
пленок (жировых, масляных), остатков краски и т.д. Так как
газоотделение из неочищенных пустот может оказывать отрицательное
влияние на стабильность тлеющего разряда при нагреве (и при
определенных условиях привести к увеличению продолжительности нагрева),
очистку следует проводить очень тщательно.
В печи для плазменного
азотирования детали могут находиться как в вертикальном, так и в
подвешенном положении, причем они автоматически, через загрузочную плиту
соединяются с отрицательным полюсом (катодом) блока питания. При
загрузке деталей необходимо учитывать, что поверхности, на которые
устанавливаются и с которыми контактируют детали, не должны давать зоны
свечения, т.е. после азотирования эти поверхности должны оставаться
мягкими.
При обработке больших серий
деталей рекомендуется для повышения коэффициента использования печи
предварительно устанавливать подлежащие обработке детали на
расположенное вне печи загрузочное приспособление. Это позволяет
производить быструю смену садок.
После включения и откачки печи
до давления, например, 10 Па поддерживается тлеющий разряд. Предварительно
на пульте управления должны быть заданы все параметры процесса, такие
как температура, длительность, тип газа, давление. Процесс обработки
начинается с очистки, при которой в результате испарения,
обусловленного ионной бомбардировкой, с поверхности детали
удаляются всегда имеющиеся на ней загрязняющие примеси. Затем садку
нагревают посредством тлеющего разряда.
На рис. 123 показана диаграмма
самописца, на которой зафиксирован ход автоматизированного процесса
плазменного азотирования [58]. Для нагрева садки до заданной
температуры (570 °С) потребовалось 2,5 ч. Охлаждение садки по окончании
процесса азотирования проводилось в течение 2 ч в вакууме с печью.
Часто медленное охлаждение не требуется. В этом случае печь
рекомендует-