„ических элементов, как железо,
хром, молибден и других, в связи с последующей диффузией этих
элементов на поверхности, появляется возможность путем варьирования
состава газа в плазме оказывать сильное влияние на концентрационный
профиль, например углерода, в поверхностном слое [17]. На рис. 91
показаны концентрационные профили углерода и азота в поверхностном
слое стали 31СгМо\/9 при обработке ее в науглероживающей и
обезуглероживающей плазме. Этот способ, как более детально поясняется
в разд. 2.2.3.3, позволяет получать очень
вязкие и при этом достаточно твердые поверхностные слои.
Что касается кислорода, то
процесс испарения в бескислородной плазме приводит к депассивации
поверхности. Это справедливо и в отношении пассивных оксидных слоев
коррозионно- и кислотостойких сталей.
Непосредственный массоперенос
азота из плазмы в поверхностный слой металла, если он вообще
происходит, очень незначителен и возможен лишь путем непосредственного
внедрения его ионов. Согласно Кёльбелю, диффузия азота эффективна только в
сочетании с вышеописанным процессом испарения атомов железа
[14].
Азот в плазме находится в
атомарном состоянии и в этой форме химически очень активен. Перед
поверхностью катода происходит образование обогащенных азотом нитридов
железа. Молекулы РеЫ конденсируются на поверхности детали и диссоциируют,
так как при температурах азотирования нестойки и образуют нитриды железа
низшего порядка Ре2М, Ре3М и Яе4Ы (рис.
90). Выделяющийся при этом азот диффундирует в деталь или, испаряясь,
возвращается в плазму.
Азотирование в плазме тлеющего
разряда, таким образом, характеризуется комбинированным процессом
испарения - осаждения. Подобное взаимодействие распространяется не только
на нитриды, но и на карбиды и карбонитриды.
Уже через несколько минут после
начала процесса образуются взаимосвязанные нитридные слои, в результате
чего на поверхности очень быстро появляется избыток азота [18].
Возникает высокий ] гРадиент концентрации азота, оказывающий
положительное влияние на диффузию [19].
Быстрое образование
взаимосвязанных нитридных фаз железа, Как было установлено в
результате электронномикроскопических исследований, приводит к тому, что
азот диффундирует как вдоль границ зерен, так и в самих зернах [20]. Кроме
того, регулируемое испарение углерода из поверхностного слоя, а также его
последующая диффузия преимущественно вдоль границ зерен приводит к
тому, что в этой области не образуется или образуется лишь
очень