Азотирование и карбонитрирование

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу Азотирование и карбонитрирование

Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .

Страницы: 1 2 3... 57 58 59 60 61 62 63... 137 138 139

	WOO £¿22. Реакции с поверхностью детали Реакции плазмы на поверхности детали были длительное время неизвестны. Первое удовлетворительное объяснение дал Кёльбель: реактивное распыление катода [14]. Другое объяснение приводит Худис, постулирующий внедрение (диффузию) азота из азотно-во-дородных радикалов [15]. Согласно Кёльбелю, происходящие при возникновении ионов газа на поверхности катода процессы можно подразделить следующим образом: - эмиссия электронов; - вырывание атомов из поверхности (Sputtering - испарение) [44]; - внедрение (диффузия) ионов в поверхностный слой детали; - отдача кинетической энергии поверхности: нагрев детали. f 500 Ток, А Рис. 88. Вольт-амперная характеристика различных форм газового разряда (соела неон, давление 133 Па) [11]: 1 и да / - разряд Таунзенда; // - коронный разряд; /// - субнормальный тлеющий разряд- не­нормальный тлеющий разряд; V - аномальный тлеющий разряд; VI - дуговой разряд ния катод - анод), и только вблизи поверхности катода начинает снижаться. Этот спад напряже­ния - так называемое катодное падение напря­жения - обусловлен интенсивной ионной бомбар­дировкой катода и позволяет использовать плаз­му тлеющего разряда для обработки поверхнос­ти. Всв важные процессы в плазме, такие как воз­буждение, диссоциация, ионизация, а также ре­комбинация, происходят в этой области. Воз­бужденные атомы и молекулы излучают кванты сввта, и в области катодного падения напряжения перед поверхность детали наблюдается свечение тлеющей кромки. Тлеющая кромка принимает форму контура детали, что имеет определяющее значение для промышленного применения этого способа. Рис 89. Характеристика тлеющего разряда [11]: / - кривая напряжения; // - электрическое поле; /// - положительный пространственный заряд,"/V" отрицательный пространственный заряд,- V " суммарное распределение заряда; VI - плотность тока (положительные /р и отрицательные іе носители заряда); А - катодное падение напря­жения; Б - отрицательная область тлеющего разряда 120 Рис. 90. Процессы на поверхности при плазменном азотицимиив ' - деталь; и - стенка печи; III - изменение энергии ионов - • « 121 rss Карта

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу