4.3.6. Масс-спектрометрия вторичных
ионов ' '
При бомбардировке поверхности
твердого тела ионами часть ионов упруго отражается, а часть передает свою
кинетическую энергию кристаллической решетке твердого тела. Некоторые
атомы вблизи поверхности в результате соударения с ионами приобретают
энергию, достаточную для того, чтобы покинуть поверхность тела в виде
нейтральной частицы или частицы, положительно или отрицательно
заряженной. Глубина выхода этих частиц составляет ~ 20 А Вторичные ионы
анализируются в масс-спектрометре, и по результатам этого анализа ВИМС
делается заключение о химическом составе поверхностного слоя. ВИМС
позволяет анализировать все элементы, включая водород.
4.3.7. Электронная
спектроскопия для химического анализа
Этим методом ЭСХА измеряется
энергетический спектр электронов, испускаемых твердым телом под действием
рентгеновского излучения. Глубина исследуемого слоя составляет 5 - 100
А. Определению
поддаются все элементы, кроме водорода. Точность анализа настолько велика,
что можно определить не только вид атома, но и характер его химических
связей, т.е. соединение, в которое он входит. Таким образом, ЭСХА
представляет собой инструмент, с помощью которого можно подробно
исследовать нитриды и их состав.
4.3.8. Мессбауэровская
спектроскопия
При исследовании методом
мессбауэровской спектроскопии образец облучается У-квантами от радиоактивного
источника, например изотопа 57 Со. При движении образца
относительно источника излучения при определенных значениях относительной
скорости благодаря доппле-ровскому сдвигу частоты происходит резонансное
поглощение у-квантов ядрами железа. Величина этого допплеровского
сдвига, приводящего к резонансу, зависит от жесткости связей атомов в
кристаллической решетке. Благодаря этому эффекту по спектру
поглощения У-квантов (мессбауэровскому спектру) можно судить о ближайшем
окружении атомов железа и о дефектности кристаллической
решетки.
На рис. 193 показан
мессбауэровский спектр образца, подвергнутого газовому
азотированию.
