Новые материалы

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу Новые материалы

Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .

Страницы: 1 2 3... 78 79 80 81 82 83 84... 734 735 736

	 2. МАТЕРИАЛЫ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИК| рование диэлектрического слоя на основе поликристаллического крем­ния, не обеспечивают выполнение этих требований. В применении к структурам кремния на диэлектрике метод прямого соединения реализуется в двух вариантах: соединение окисленных пла­стин с последующим утонением одной из них путем полировки ее об­ратной стороны (BESOI-процесс) и прямое соединение окисленной пластины с тонким слоем монокристаллического кремния, отделяемым от другой пластины с помощью ионной имплантации в нее водорода и последующей низкотемпературной термообработки (Smart-Cut-процесс). Особенно перспективен «Smart-Cut»—процесс, обеспечивающий возмож­ность получения ультратонких, однородных по толщине высокосовер­шенных бездислокационных кремниевых рабочих слоев, без использо­вания весьма трудоемких операций многоступенчатой полировки, в ус­ловиях многократного повторного использования одной и той же исходной пластины. Технологическая схема изготовления структур крем­ния на диэлектрике с использованием «Smart-Cut»—процесса представ­лена на рис. 2.3. Процесс отличается достаточной простотой, обеспечи­вает несомненные экологические преимущества и существенное Сокра- те 2.3. Технологическая схема изготовления структур кремния на диэлектрике с ис­пользованием «Smart-Cut»-nponecca: стадия 1 — имплантация водорода в пластину А; стадия 2 — очистка и прямое соеди­нение пластин А и В; стадия 3 — термообработка; стадия 4 — финишная полировка Ь - 6928 81 rss Карта

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу