Новые материалы
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 66 67 68 69 70 71 72... 734 735 736
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2. МАТЕРИАЛЫ МИКРО- И
НАНОЭЛЕКТРОНИКИ |
|
|
|
|
|
областью приборной структуры и
геттерирующей областью возникает градиент концентрации растворенной
загрязняющей примеси, которая диффундирует в геттерирующую среду,
благодаря чему и достигается эффект очистки. Эффективность геттерирования
в данном случае напрямую зависит от объемной концентрации создаваемых
в геттерирующей среде центров гетерогенного зарождения преципитатов и
диффузионной подвижности атомов загрязняющей примеси.
Во втором случае наблюдается
сегрегационное перераспределение примеси между областями с разной ее
эффективной растворимостью. Область с более высокой растворимостью
выступает в роли стока для примесных атомов, располагающихся в области
пониженной их растворимости. Движущей силой этого процесса является
различие в величине электрохимического потенциала растворенной
примеси между этими областями — при одной и той же концентрации
растворенной примеси электрохимический потенциал ниже в области с большей
растворимостью. Эффект сегрегации может быть обусловлен: различием в
фазовом состоянии данного вещества, например, между кристаллом и расплавом
в процессе выращивания кристалла; различием в природе контактирующих
между собой материалов, например, на границе кремний — двуокись
кремния; различием в уровне легирования различных областей пластины из-за
влияния положения уровня Ферми на растворимость загрязняющих примесей или
образования комплексов между атомами легирующей и загрязняющей примеси;
различием в уровне механических напряжений между различными областями
пластины, вызывающим увеличение или уменьшение локальной растворимости
примеси. Преимуществом сегрегационной очистки является то, что в
данном случае отсутствует необходимость в пересыщении
соответствующего примесного твердого раствора.
Для каждого из рассмотренных
вариантов геттерирования существует своя производственная ниша,
определяющая целесообразность его применения. Для геттерирования с
использованием сегрегационных эффектов это интервал температур, в
котором загрязняющая примесь имеет достаточно высокую диффузионную
подвижность, а эффект сегрегации максимален. Для «распадного»
геттерирования — это интервал темпера-тур, в котором загрязняющая примесь
может образовать пересыщенный твердый раствор и в то же время оставаться
достаточно подвижной для того, чтобы продиффундировать к геттерирующим
стокам и там преци-питировать. В реальных процессах геттерирования
возможно одновременное проявление как «распадных», так и
сегрегационных эффектов. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 66 67 68 69 70 71 72... 734 735 736
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
