Новые материалы
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 64 65 66 67 68 69 70... 734 735 736
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2. МАТЕРИАЛЫ МИКРО- И
НАНОЭЛЕКТРОНИКИ |
|
|
|
|
|
который удаляет с поверхности
примеси металлов. Для достижения необходимого эффекта очистки,
используемые реактивы (особенно для раствора SC-1) должны обладать очень
высокой чистотой, что сильно удорожает процесс очистки. Кроме того, не
исключена возможность случайных, перекрестных загрязнений очищающих
растворов. В связи с этим ведутся интенсивные исследования по оптимизации
процессов жидкостной очистки, в том числе с учетом необходимости повышения
их технико-экономических показателей. В литературе описаны, по
крайней мере, три возможности решения этой задачи: разбавление
очищающих растворов SC-1 и SC-2 с переходом от смесей 1:1:5,
например, к 1:4:20 или еще более разбавленным смесям, в том числе с полным
удалением перекиси водорода из раствора SC-2; применение в качестве
очищающих сред разбавленных кислотных растворов на основе
разбавленной HF и озона, а также добавок разбавленной НС1;
оптимизация состава щелочного раствора SC-1 путем добавки в него
комплексообра-зующих агентов, исключающих осаждение металлических примесей
на поверхности кремниевой пластины и позволяющих тем самым полностью
исключить этап, связанный с использованием раствора SC-2. В качестве
таких комплексообразующих агентов хорошо зарекомендовали себя хелаты
[11].
В разработанных недавно весьма
прогрессивных схемах очистки (см. рис. 2.2) предусмотрена индивидуальная
обработка каждой пластины, сначала в жидкостном очистителе с вращающимися
щетками, а затем в жидкостном очистителе с вращающимся и вибрирующим
диском, на котором размещается очищаемая пластина, отмываемая с помощью
специальных сопел активной водой. В качестве очищающих активных сред
используют озонированную воду, электрически ионизированную (катодную)
воду, а также разбавленную (0,5 %) плавиковую кислоту. Все операции
осуществляются в особо чистых боксах, исключающих возможность
загрязнений из окружающей среды. В результате удается получать пластины
диаметром до 400 мм, характеризующиеся следующими показателями
качества: уровень загрязнения поверхности металлическими примесями менее
5-108 ат/см2, число частиц размером > 80 нм менее
60 на пластину диаметром 400 мм [10].
Работы по дальнейшему
совершенствованию технологии получения высококачественных пластин кремния
большого диаметра интенсивно продолжаются. При этом основное внимание
уделяется созданию станков для прецизионной механической и химической
обработки; программному обеспечению процессов, обеспечивающих
осуществление |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 64 65 66 67 68 69 70... 734 735 736
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
