Новые материалы
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 63 64 65 66 67 68 69... 734 735 736
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ный раствор с очень малым
размером зерна применяемого абразива. Каждая пластина на всех трех стадиях
финишной полировки обрабатывается индивидуально.
При получении высококачественных
пластин широко используются процессы жидкостной очистки. При этом большое
внимание уделяется рациональному выбору очищающих сред. Для решения
различных задач (удаление частиц, снижение уровня загрязнений
металлическими примесями, удаление следов фоторезиста и т. д.)
используются различные очищающие растворы (табл. 2.2). Практически все они
дают те или иные нежелательные побочные эффекты, и ни один из них не
обеспечивает очистку от всех возможных типов загрязнений. Поэтому на
практике используются различные сочетания очищающих растворов. Наиболее
распространен так называемый RCA-очищающий процесс, который состоит
из двух этапов. На первом из них используется раствор SC-1, который
обеспечивает эффективную очистку поверхности пластины от посторонних
частиц и органических загрязнений, а на втором - раствор
SC-2, |
|
|
|
|
|
Таблица 2.2. Традиционные очищающие растворы, используемые в
полупроводниковом производстве |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Удаление органических
загрязнений (напр. следов фоторезиста) |
|
Попадание
частиц,
осаждение
сульфатов |
|
|
|
|
Удаление оксидов,
металлов из двуокиси кремния |
Растворение
двуокиси
кремния |
Попадание частиц,
обратное осаждение благородных металлов |
|
|
|
|
Удаление
частиц
неорганических
загрязнений |
Травление
кремния,
окисление |
Повторное осаждение
ионов металлов (напр. Al3+, Fe3+,
Zn2+), поверхностная
шероховатость |
|
|
|
|
|
Комплексо-
образование,
гидролиз |
Попадание частиц
(коррозия) |
|
|
|
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 63 64 65 66 67 68 69... 734 735 736
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
