Новые материалы

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу Новые материалы

Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .

Страницы: 1 2 3... 62 63 64 65 66 67 68... 734 735 736

	 2. МАТЕРИАЛЫ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ и задача уменьшения поверхностного рассеяния света, что позволяет повысить чувствительность оптических систем, используемых для конт­роля количества субмикронных частиц, присутствующих на рабочей поверхности пластин. Присутствующие на поверхности пластин микрошероховатости делят­ся на две категории: так называемые «собственно микрошероховатости» с длиной волны меньше 100 мкм и «туман», к которому относят шеро­ховатости с длиной волны от 10 нм до 1 мкм. Условия уменьшения уров­ня тех и других различны. Поэтому в полировальной машине для фи­нишной полировки смонтированы соответственно две полировальные плиты. Первая — для «полуфинишной» полировки и снижения уровня микрошероховатостей, вторая — для уменьшения уровня «тумана». Кро­ме того, в машине предусмотрена третья полировальная плита, отделяе­мая от первых двух специальной атмосферой и сообщающаяся с ними через специальную жидкостную транспортную систему (см. рис. 2.2). Эта плита предназначена для механической очистки рабочей поверхности пластины с помощью распыляемой на нее озонированной воды. Этот процесс называют химико-механической полировкой САМС (Chemical Assisted Mechanical Cleaning). Для уменьшения уровня «тумана» в про­цессе соответствующей обработки используют специальные мягкие по­лирующие прокладки с пониженным модулем упругости и полироваль- Рис. 2.2. Схема последовательных операций, используемых при финишной полировке и очистке рабочей поверхности пластин кремния большого диаметра [10]: ^ предварительная финишная полировка; 2 - окончательная финишная полировка; ^ транспортер с жидкостным затвором; 4 - химико-механическая очистка (САМС); жидкостная очистка вращающимися кистями; 6 — жидкостная вращательная очистка 5 - 6928 65 rss Карта

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу