зива используется обычно карбид
кремния с размером зерна 2000 мещ. Колебания температуры суспензии на
протяжении всего процесса резки не превышают 0,8 °С, что позволяет резко
уменьшить изгиб пластин. В результате даже на пластинах диаметром 400 мм
после резки удается получать следующие показатели качества: общая
неплоскостность (GBJR) — 17,4 мкм, изгиб — 21,0 мкм, шероховатость — 10,7
мкм. При этом толщина реза составляет 184 мкм.
С целью дальнейшего повышения
плоскостности, пластины после проволочной резки проходят цикл многократной
шлифовки или подвергаются операции двухсторонней прецизионной обточки
на специальных шпиндельных обточных станках. Последняя операция
обеспечивает получение пластин диаметром до 400 мм с общей
неплоскостностью (GBJR) на уровне ниже 1 мкм. Последующая односторонняя
поверхностная обточка позволяет довести этот показатель до 0,5...0,6
мкм, при этом уровень локальной неплоскостности составляет 0,10...0,17
мкм.
Далее следует операция
двухсторонней полировки, которая ставит своей задачей дальнейшее повышение
общей и локальной плоскостности обрабатываемых пластин. Для этих
целей созданы прецизионные шлифовальные машины с нижними плитами,
рассчитанными на пять однопластиночных носителей. Диаметр носителя для
пластин диаметром 400 мм составляет 600 мм. Оптимизация температуры плит,
величины зазора между верхней и нижней плитами, а также исключение
крепления пластин с помощью воска, позволяют снизить общую
неплоскостность пластин диаметром 400 мм до величины менее 0,6 мкм и
достигнуть локальной неплоскостности (SFQR) менее 100
нм.
Окончательная доводка пластин до
необходимой кондиции осуществляется на заключительных стадиях
технологического процесса — финишной односторонней полировки и
«вращательной» очистки рабочей поверхности (рис. 2.2). Для того,
чтобы на заключительных стадиях процесса добиться максимального эффекта
очистки, финишная односторонняя полировка выделена в отдельную операцию и
технологически отделена от операции двухсторонней полировки. Полировальный
станок для финишной обработки пластин размещается в специальном
чистом помещении и сообщается с установкой влажной очистки поверхности
посредством специальной жидкостной транспортирующей системы,
предохраняющей поверхность пластины от высыхания и, соответственно, от
формирования на ней статического заряда, затрудняющего очистку от
мельчайших частиц. Основная задача финишной полировки — это дальнейшее
снижение уровня микрошероховатостей. При этом одновременно
решается
