Новые материалы

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу Новые материалы

Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .

Страницы: 1 2 3... 635 636 637 638 639 640 641... 734 735 736

	 НОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ собствовать снижению внут­ренних напряжений в покры­тии и повышению адгезии светочувствительного слоя фо­торезиста к подложке. В качестве фотоинициато­ров для полиимидных фото­резистов использовали синер-гическую смесь бензофенона и кетона Михлера, так как они обладают высокой фото­химической активностью и неионогенны, в связи с чем не оказывают влияния на ди­электрические показатели по­крытий. Рис. 9.8. Зависимость степени отверждения по­лимеров, полученных сополимеризацией нена­сыщенных мономеров, от времени экспониро­вания тэкс: / - ТГМ-3:МГФ-9:МЭО = 1:1:1; 2 - ТГМ-3:МЭО = 1:1; 3 - МГФ-9:МЭО = 1:1; 4 - ТГМ-3:МЭО =2:1; 5 - ТГМ-3:МЭО = 1:2; 6 - МГФ-9:МЭО = 2:1; 7 - МГФ-9:МЭО = 1:2 Влияние содержания бензо­фенона и кетона Михлера на процесс фотохимического от­верждения полиимидного фо­торезиста было изучено на примере композиций, включа­ ющих полиамидокислоту на основе диангидрида 3,3', 4,4'-дифенилоксидтетра-карбоновой кислоты и 4,4'-диаминодифенилоксида с молекулярной массой 10600 и олигоэфи-ракрилата ТГМ-3. На рис. 9.9 видно, что увеличение содержания бензофенона в свето­чувствительном слое с 1 до 5 (масс.ч) способствует повышению свето­чувствительности фоторезиста, которая при дальнейшем увеличении его концентрации не растет. Однако использование бензофенона в качестве фотоинициатора даже в оптимальном количестве 5 % (масс.) не позволяет достигнуть требуемо­го уровня светочувствительности, который должен быть в 4—5 раз выше. Это объясняется тем, что бензофенон имеет Хтах = 254 нм, а в этой об­ласти имеют сильное поглощение как полиамидокислота, так и опти­ческое стекло. Вместе с тем, использование в качестве фотоинициатора кетона Мих­лера (4,4'-бис-(диметиламино-)-бензофенона) позволяет сместить макси­мум поглощения в область 355 нм. Из рис. 9.10 видно, что светочувстви- 638 rss Карта

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу