Ненасыщенные полиамидокислоты
обладали хорошей растворимостью как в органических растворителях,
например, в Л^ТУ-диметилформами-де, так и в водно-щелочных растворах,
например, в 1...2% водном растворе
кальцинированной соды.
Известно, что в состав
композиций для фоторезистных материалов входит ряд компонентов,
обеспечивающих получение качественных пленок. Обычно для повышения
светочувствительности композиций в них добавляют фотоинициатор, способный
инициировать реакцию полимеризации под действием света в процессе
отверждения сухого пленочного фоторезиста.
Несмотря на то, что существует
много фотоинициаторов различных видов, только некоторые из них обладают
комплексом свойств, позволяющих применить их в производстве сухих
пленочных фоторезистов.
На основании анализа
литературных данных было решено остановиться на фотоинициирующей
системе, включающей бензофенон и ке-тон Михлера.
