Новые материалы
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 59 60 61 62 63 64 65... 734 735 736
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица 2.1. Перспективы изменения качества пластин кремния по мере
усложнения УСБИС |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Объем динамической памяти |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Локальная
неплоскостность (SFQR), мкм |
|
|
|
|
|
|
Поверхностное
загрязнение примесями металлов,
ат/см2 |
|
|
|
|
|
|
Число посторонних частиц
на поверхности |
|
|
|
|
|
|
Размер посторонних
частиц на поверхности, мкм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
|
Для сравнения, на том же рисунке
представлены различные варианты технологических схем, разработанных и
уже опробованных в применении к пластинам диаметром 400 мм [10].
Характерными особенностями технологии изготовления пластин диаметром
300 и 400 мм являются использование проволочных станков резки и операции
двухсторонней полировки, предшествующей операции односторонней полировки
рабочей поверхности пластины. Зеркальная полировка обратной стороны
пластины позволяет исключить образование в ней полос скольжения при
проведении последующих высокотемпературных процессов, а также
повысить локальную плоскостность.
Для повышения качества
поверхности пластин больших диаметров после проволочной резки, увеличивают
скорость подачи проволоки до 850... 1000 м/мин и ее натяжение до 70 Н на
струну, что, соответственно, в 2 и 3 раза выше, чем в традиционных
станках проволочной резки. Новинкой также является использование
водорастворимого охладителя на основе полипропиленгликоля с
некоторыми добавками, который обеспечивает постоянную вязкость и
сохранение высоких эксплуатационных качеств абразивной суспензии на
протяжении всего процесса резки, длительность которой для кристаллов
диаметром 400 мм достигает 25 ч. Повышению плоскостности отрезаемых
пластин способствует контроль за толщиной слоя суспензии на поверхности
режущей проволоки, что достигается оптимизацией скорости движения
проволоки и ее натяжения, скорости подачи разрезаемого слитка, размера
зерен абразива в суспензии, а также ее температуры и вязкости. В
качестве абра- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 59 60 61 62 63 64 65... 734 735 736
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
