jabfese^*"-...........
Некоторые дополнительные
возможности получения изображений
Относительную пространственную
глубину деталей на изображении можно оценить с помощью
стереомикроскопии. Для этого получают два снимка с одного и того же
участка, повернутых друг относительно друга не менее чем на 5°, и
рассматривают полученные картинки с помощью стереопроектора. В случае,
когда исследователь работает с многофазным материалом, который имеет
несколько фаз с близкими параметрами решетки, полезным может оказаться
применение метода 2^ D. Если наблюдать два темнопольных
изображения, полученных при различных установках фокуса, через
стереопроектор, то можно идентифицировать различные фазовые составляющие
на разных
глубинах. Однако следует помнить,
что метод 2^0 не отражает реального пространственного положения фаз.
С появлением микроскопов, оборудованных автоэлектронной эмиссионной
пушкой, все большее значение приобретает метод электронной голографии. В
отличие от обычного ПЭМ, при получении голографического изображения
записывается как амплитуда, так и частота электронного пучка; таким
образом, сохраняется полная информация об объекте. Однако следует
отметить, что интерпретация интерференционной картины не является
тривиальной задачей. Информацию о поверхности материала можно получать с
помощью ПЭМ в сканирующем режиме или метода «топографического
контраста». Сканирующая ПЭМ не требует приготовления тонкой фольги,
однако поверхность материала должна быть относительно плоской и не
содержать примесей или оксидного слоя. К преимуществам метода следует
отнести возможность исследования поверхности in-situ при нагреве или охлаждении.
Дополнительная информация может быть получена с помощью изображения,
сформированного вторичными или обратно рассеянными электронами в
сканирующем ПЭМ режиме.
В последние годы заметен
значительный прогресс в анализе структуры различных тонкопленочных
систем и покрытий с помощью метода ПЭМ BP. Этот прогресс связан с
разработкой не только новых микроскопов, таких, например, как
микроскопы с автоэлектронной эмиссионной пушкой, но и новых методов
приготовления тонких фольг и компьютерного моделирования изображений
высокого разрешения. Возможности метода значительно расширяются с
использованием «анали-
