сти двойникования c-BN
оказываются строго параллельными базисным плоскостям ромбоэдрического BN
и между c-BN и r-BN
выполняются следующие ОС:
Это свидетельствует о
гетероэпитаксиальном росте c-BN.
ПЭМ BP на поперечных срезах также
позволяет анализировать границу раздела покрытие/подложка, что дает
возможность судить не только об их кристаллографической связи, но и о
механизме роста пленок. Известно, что поверхность подложки, как правило,
не является атомистически плоской и может содержать различные
неровности (ступеньки роста, дефекты полировки и т.д.). В то же время в
литературе имеется довольно ограниченное количество данных по влиянию
нанорельефа поверхности подложки на морфологию тонких пленок.
На рис. 7.9 показано
электронно-микроскопическое изображение высокого разрешения
(поперечное сечение) переходной зоны покрытие LiNb0
7Та0 303/подложка
А1203 [14]. На поверхности
сапфировой подложки хорошо виден отдельный кристаллит с боковым
размером 30 нм, расположенный на выступе высотой 1...2нм. Такие
выступы, являющиеся дефектами полировки, наблюдались только на
поперечных срезах в направлении [2110] и не отмечались в направлении
[1010]. Ступеньки по обе стороны от выступов показаны на рисунке
стрелками. Эти ступеньки являются наиболее благоприятными
низкоэнергетическими местами для зарождения пленок. Хорошо видно, что
боковой размер кристаллита на стадии зарождения определяется шириной
выступов на поверхности подложки. Ориентировка внешних плоскостей
ступенек является во многом определяющей для установления эпитаксиальной
связи покрытие/подложка. Как видно на рис. 7.9, внешняя атомная
плоскость террасы строго не совпадает с плоскостью (ОООГ) сапфира. Боковые грани выступа также не
совпадают с плоскостью {1120}. Следовательно, новая фаза,
зарождающаяся на крае выступа, может быть связана с подложкой ОС,
отличным от эпитаксиальной связи (0001)пл
//(0001)полл. и [1120]пл.//[1120]гюлл,
что и наблюдается экспериментально. В этом случае кристатлиты могут иметь
различную ориентировку, которая, однако, не является
случайной.
Известно, что существуют два
основных механизма роста пленок: образование изолированных трехмерных
островков (механизм Фольмера-