Новые материалы

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу Новые материалы

Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .

Страницы: 1 2 3... 496 497 498 499 500 501 502... 734 735 736

	 являются новой категорией материалов, используемых для улучшения механических свойств поверхности, в первую очередь твердости и изно­состойкости. ПЭМ BP на поперечных срезах позволяет получать инфор­мацию о последовательности слоев, их структуре, эпитаксиальной свя­зи, диффузии между слоями, структуре границ раздела и дислокацион­ной структуре. Применение этого метода стало возможным главным образом благодаря прогрессу в приготовлении объектов для структурных исследований, хотя необходимо длительное и довольно кропотливое при­готовление образцов с помощью специальных методов и методик. Для наглядной демонстрации возможностей метода ПЭМ BP на по­перечных срезах рассмотрим несколько примеров. Известно, что рост пленок может сопровождаться формированием слоистой структуры, па­раметры которой можно выявить только путем проведения ПЭМ на поперечных срезах. Так, на рис. 7.7 видно, что при осаждении пленки кремния на кремниевую подложку сначала образуется тонкий аморфный слой, который далее трансформируется в мелкокристаллический слой, состоящий из равноосных зерен, и далее в слой с колонной структурой с боковым размером зерен 0,3... 1 мкм. На рис. 7.8 показана структура пленки BN, полученная путем маг-нетронного распыления мишени гексагонального BN [3]. Видно, что структура пленки состоит из аморфного слоя толщиной 6 нм, текстуро-ванного слоя 5р2-связанного BN толщиной 6 нм и слоя c-BN. Плоско- го. 7.7. Электронно-микроскопическое ТП изображение (поперечное сечение), пока­зывающее образование слоистой структуры при осаждении пленки кремния rss Карта

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу