Рис. 7.4. ПЭМ
изображение BP (вид сверху) пленки "ПА10
2В0 71МЦ 7,
показывающая параллельный контраст от частицы размером 1x3 нм,
соответствующий проекциям базисных плоскостей /i-BN с межплоскостным
расстоянием 0,33 нм на плоскость изображения [2]
стей не является абсолютно
достоверным методом, так как изображение может меняться в зависимости
от толщины фольги и условий фокусировки. В этом случае на помощь
приходит аналитическая электронная микроскопия. Химический состав
индивидуального нанокристалла или границы раздела может быть определен с
помощью энерго-диспер-сионной спектроскопии (ЭДС). Спектроскопия
энергетических потерь электронов (СЭПЭ) позволяет получать информацию о
типе и ближайшем окружении атомов в соседних оболочках. Определение
типа структуры может быть осуществлено в первом приближении путем
сравнения энергетического спектра исследуемого материала со
спектрами, полученными с эталонов. Применение СЭПЭ в комбинации с другими
методами позволяет определять фазовый состав многокомпонентных
на-носфуктурных пленок с размером зерен 0,3...4нм [2].
Исследование структуры границ раздела
и дислокационной структуры
в тонких
пленках
с помощью ПЭМ
BP
Структура границ раздела
довольно часто анализируется с помощью ПЭМ BP, так как, с одной стороны,
она обеспечивает хорошее разрешение на атомном уровне, а с другой -
граница раздела является идеальным объектом. Если плоскости с низкими
индексами в обоих смежных зернах строго параллельны поверхности фольги, то
мож-
