ент сопротивления (ТКС) пленок в
5—10 раз меньше, чем у соответствующих объемных равновесных образцов.
Были получены наноструктурные пленки Ti—С—В с экстремально малым КТС,
равным -2х10~5 К-1, при необратимом изменении
сопротивления за 1000 ч работы под нагрузкой 1 Вт/см2 не более
0,2 %. Также было показано, что чем меньше масштаб структуры, тем
выше термическая стабильность пленки. Оптимальными электрофизическими
свойствами обладали пленки, состоящие из кристаллитов размером 2 нм,
внедренных в аморфную матрицу. Пленки Ti—Si—N показали свою эффективность
в качестве диффузионных барьерных слоев между Si и А1 или Си.
Полученные пленки являются либо полностью аморфными, либо содержали
нанокристаллиты TiN, внедренные в аморфную матрицу. По аналогии с
ранее полученными результатами было установлено, что термическая
обработка в вакууме приводит к понижению
электросопротивления.
Многослойные покрытия в оптике
В данной области применения
наноструктурных покрытий можно выделить следующие основные группы
многослойных пленок: энергосберегающие (поглощающие тепло) покрытия;
теплоотражающие покрытия; интерференционные и дифракционные тонкопленочные
системы; светопропускающие и радиационностойкие покрытия; защитные
покрытия с высокими механическими свойствами.
Энергосберегающее покрытие играет
роль аккумулятора тепла (энергии) и предназначено для пропускания и
поглощения ИК-спектра.
Теплоотражающие покрытия
предназначены для снижения или полного отражения инфракрасного
(теплового) спектра излучения и пропускания видимой части спектра. В
теплоотражающем покрытии основную роль играет слой серебра толщиной 100 А.
Такие пленки широко используются для защиты оконных стекол жилых
домов и бизнес-центров для создания комфортных условий труда и отдыха
людей, в отражающих элементах приборов для иллюминации и сигнальных
устройствах. Данные покрытия позволяют значительно сэкономить
электроэнергию, затрачиваемую на кондиционирование помещений. Поэтому для
южных стран и в жаркое время года данные покрытия также являются и
энергосберегающими.
Интерференционные и дифракционные
покрытия находят применение в различных видах фильтров,
функциональной и компьютерной оптике, рентгеновских зеркалах и других
оптических элементах.
