риалов, в первую очередь,
относятся пасты на основе полимеров, кремния и припой.
Акустико-оптические покрытия
Ниобат и танталат лития являются
важными материалами для электроники, акустики и оптики, так как они
обладают превосходными ферроэлектрическими, пьезоэлектрическими,
пироэлектрическими и оптическими свойствами. Поэтому их получение в
виде равномерных тонких пленок, имеющих хорошую морфологию
поверхности и кристалличность, на подложках с низким индексом
отражения и высокой скоростью распространения акустических волн
является крайне актуальной задачей.
Эпитаксиальные пленки ниобата и
танталата лития (LiNb03 и LiTa03) могут осаждаться
различными методами, в том числе методом молекулярной лучевой эпитаксии,
химическим осаждением, металлоор-ганическим химическим осаждением, ионным
плакированием, золь-гель методом, в том числе с применением полимерного
исходного раствора, осаждением с помощью эксимерного и импульсного лазера,
а также маг-нетронным распылением. У лучших пленок LiNb03 и
LiTa03, которые удалось получить, величина оптических потерь не
превосходила 1 дБ/см, а полуширина линии (0001) рентгеновского спектра и
среднеквадратичное значение шероховатости поверхности соответственно
составляли 0,04° и 1,5 нм.
Покрытия для микроэлектроники
Технология тонких пленок находит
все более широкое применение в микроэлектронике при производстве
гибридных интегральных схем. Резистивные слои являются настолько
чувствительными к микроструктуре, что едва заметные
рекристаллизационные процессы в пленке приводят к существенным изменениям
термического коэффициента сопротивления сс и временной стабильности
резистора под нагрузкой. Известно, что электрофизические свойства
пленок во многом обусловлены влиянием размерного эффекта. Так, величина
электросопротивления наноструктурных пленок Ti—В—N оказывается на
порядок выше, а его рост происходит интенсивнее, чем у равновесных поли- и
монокристаллических образцов, что связывается с рассеянием носителей
на границах кристаллитов, примесях и дефектах. В то же время
термический коэффици-
