Новые материалы
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 476 477 478 479 480 481 482... 734 735 736
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
7. ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ПОКРЫТИЯ |
|
|
|
|
|
пользовались однофазные мишени на
основе металлов (Ti, Si), интерме-таллидов (TiAJ), нитридов (TiN, BN),
силицидов (TigSi3, TiSi2,
Ti3Si) или боридов (TiB, TiB2), причем сложный
химический состав покрытия достигался либо за счет использования
реактивной среды, либо путем одновременного распыления двух или
нескольких мишеней (например, TiAl и TiB2). Тонкие пленки могут
наноситься различными методами физического осаждения, в частности,
магнетронным распылением. Этот метод интенсивно развивался путем
применения разбалансированных и ионизирующих систем. В последние годы
возможности технологии вакуумного напыления существенно расширились
за счет применения нового класса композитных мишеней, получаемых
методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС).
Технология СВС-компактирования дает возможность производства широкого
спектра всевозможных мишеней на основе керамики, металлокерамики и
интер-металлидов. Кроме того, СВС-технология позволяет получать
принципиально новые материалы для мишеней, такие, как
нестехиометрические карбиды, функционально-градиентные и многофазные
материалы. Использование СВС-катодов существенно расширяет
возможности метода физического осаждения, в первую очередь, с точки зрения
химического и фазового состава покрытий. Принципиальное отличие распыления
композиционных мишеней от металлических состоит в том, что в первом
случае перенос вещества осуществляется смешанным потоком
металлических и неметаллических атомов и ионов. Кроме того,
распыление композитной мишени является более сложным процессом из-за
эффекта преимущественного распыления и возможности образования тонкого
слоя нового соединения на поверхности мишени.
Интерпретация свойств
многокомпонентных пленок является достаточно сложной задачей, так как
много разнообразных факторов влияет на их характеристики. Поэтому для
понимания свойств тонких пленок необходим детальный анализ их структуры,
химического и фазового состава. Недавно Вепреком была предложена новая
концепция конструирования сверхтвердых наноструктурных пленок [6].
Было показано, что эти материалы являются нанокомпозитами, состоящими либо
из нанокристаллитов, внедренных в аморфную матрицу, либо из смеси двух
нанокристаллических фаз. Считается, что такая микроструктура может
предотвратить зернограничное проскальзывание и снижение твердости
материала. Многокомпонентные пленки обычно содержат очень маленькие
зерна, размером менее 20 нм. Легирование и наличие примесей тормозит рост
кристаллитов и стимулирует зарождение новых зерен. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 476 477 478 479 480 481 482... 734 735 736
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
