Вероятно, могут быть созданы
способы формирования двухслойной структуры, либо с помощью облучения
подложек тепловыми нейтронами, либо испарением легколетучей примеси,
которой является фосфор, из приповерхностных слоев высоколегированной
подложки.
В Московском институте стали и
сплавов работы по направлению «Непланарная электроника» проводятся с 1999
года. За это Бремя совместно с АО «Элекс» (г.Александров) и
Томилинским электронным заводом удалось решить некоторые задачи и
отработать элементы промышленной технологии производства первых
непланарных выпрямительных диодов с барьером Шоттки.
К настоящему времени решены
следующие технологические задачи:
— разработана технология
механической и химико-динамической обработки внутренней и внешней
поверхностей цилиндрических подложек;
— разработаны способы
нанесения замкнутых металлических слоев на цилиндрическую
поверхность;
— разработан способ резки
профильных кристаллов на заготовки и обработки их торцов;
— предложена конструкция
металлических силовых токопроводящих контактов к цилиндрической
поверхности;
— экспериментально показана
возможность эпитаксиального выращивания замкнутых монокристаллических
слоев кремния на боковой поверхности цилиндрической низкоомной
подложки;
— разработана и изготовлена
оснастка для измерения основных электрофизических характеристик и
контроля качества структуры этих слоев.
В настоящее время ведутся работы
по совершенствованию технологии получения профилированных
монокристаллов кремния методом Степанова.
