Новые материалы

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу Новые материалы

Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .

Страницы: 1 2 3... 164 165 166 167 168 169 170... 734 735 736

	 2. МАТЕРИАЛЫ МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ • мм, is^1"'....... Эта разность потенциалов создается в приповерхностном слое полу­проводника, в результате возникает барьер Шоттки высотой ФМ-ФП = Ф0. В реальных структурах металл—полупроводник это соотношение не все­гда строго выполняется, так как на поверхности полупроводника в тон­кой диэлектрической прослойке, возникающей из-за технологических факторов между металлом и полупроводником, образуются локальные поверхностные состояния. Электроны, находящиеся на них, экраниру­ют влияние металла так, что внутреннее электрическое поле в полупро­воднике определяется этими поверхностными состояниями. Как правило, наибольшей высотой Ф0 обладают барьеры Шоттки нанесением на полупроводник я-типа (GaAs, Si) пленки золота. Известно, что барьер Шоттки обладает выпрямительными свойства­ми при больших токах, обусловленных целиком основными носителями заряда, а условие электронейтральности по-прежнему определяется урав­нением Q0 + Qss + Qs = 0. В частности, для контакта металл—полупроводник и-типа оно выгля­дит следующим образом: (2.4) где Qn = qN„ V' Vn — объем полупроводника и-типа, м3; CL — электри- Д Д Д Д ческий заряд поверхностных состояний на границе раздела металл—по­лупроводник, Кл; QM — отрицательный заряд на поверхности металла, который сильно влияет на краевой эффект при использовании барьеров Шоттки для создания выпрямительных диодов на токи /вьшр > 100 А и обратные напряжения Uo6p > 500 В, Кл. Условие (2.4) отличается от условия электронейтральности для одно­го кристалла без поверхностных эффектов, так как в кристалле полная сумма электрических зарядов подвижных носителей и примесных ионов -Мц, NA должна быть равна нулю. Если на единицу объема 1 см3 или 1 м приходится Na донорных атомов, из которых Nx не отдали свои электроны (следовательно, нейтральны), то оставшиеся Na~Nx доноров (на единицу объема) будут ионизированы и, следовательно, будут заря­жены. Аналогично, на единицу объема 1 см3, 1 м3 приходится NA~Ny отри­цательно заряженных ионизированных акцепторов, где Ny — число акцепторных атомов, не захвативших электрона. Тогда условие электро­нейтральности можно записать так: (2.5) 167 rss Карта

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу