Новые материалы
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 156 157 158 159 160 161 162... 734 735 736
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2. МАТЕРИАЛЫ МИКРО- И
НАНОЭЛЕКТРОНИКИ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 2.14. Поперечное
сечение кремниевой р+-п
-л+-структуры силового диода при обратном
смещении:
/ - распределение
напряженности электрического поля £ в объеме р-л-перехода; 2 —
распределение напряженности электрического поля ESp
п
на боковой поверхности ^-«-перехода; 3 ~ металл
контакта; W — ширина
области объемного заряда в объеме ^-«-перехода; Ws
-ширина области объемного заряда на боковой поверхности р-п-пе-рехода;
а,, а2 — угол обратной и прямой фаски,
соответственно |
|
|
|
|
|
где Us —
напряжение пробоя на поверхности /?-и-перехода, £/обр —
напряжение пробоя в объеме /7-л-перехода.
В полупроводниковой электронике
существует несколько способов снижения величины напряженности
электрического поля Es на
поверхности: созданием охранных р-n-переходов [49, 50] (рис.
2.15, а); формированием охранных колец профилированием р-л-переходов с помощью прямой (обратной) фаски (рис.
2.15, б), при
этом прямой фаской принято называть скос поверхности, при котором
уменьшается объем сильно легированной области p+-n-{wm
п+-р-) перехода.
Дальнейшее совершенствование
способов профилирования поверхности кремниевых р-л-переходов силовых приборов развивалось по пути
создания структур с двумя прямыми фасками (рис. 2.16, 2.17) на
рабочие |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 2.15.
Схематическое устройство р-и-перехода с защитой поверхности: о
сплошного охранного /ья-перехода; б — с помощью охранного
кольца |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 156 157 158 159 160 161 162... 734 735 736
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
|
|
|
