Новые материалы
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 137 138 139 140 141 142 143... 734 735 736
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
На рис. 2.11 приведены
экспериментальные (изображенные значками) и расчетные (сплошные линии)
зависимости напряжения на МДП-структурах Si-Si02-<PCC-Al
(кривые 1, 2, 3, 7, 8, 9) и
Si—Si02~Al (кривые 4, 5, 6) от
заряда, инжектированного в диэлектрик, для различных амплитуд токовых
воздействий. При моделировании параметры модели накопления зарядов в
Si02 и ФСС определялись из экспериментальных зависимостей,
показанных на данном рисунке.
Если параметры межзонной ударной
ионизации в ФСС принимались равными параметрам в Si02, то
расчетные кривые (7, 8, 9) для
структур Si—Si02—ФСС—А1 значительно отличались от
экспериментальных. Это указывает на то, что в слое ФСС, напряженность
электрического поля в котором достигает 11 МВ/см, должно наблюдаться
существенное ослабление генерации дырок межзонной ударной ионизацией.
Это может быть связано с изменением распределения горячих электронов по
энергии в пленке ФСС, по сравнению с Si02, и, как
следствие, уменьшением вероятности протекания процесса межзонной
ударной ионизации в ФСС, а также с уменьшением времени жизни дырок в ФСС.
На основе сопоставления результатов численного моделирования с
экспериментальными зависимостями была проведена оценка порогового
поля ударной ионизации в ФСС, характеризующая напряженность
электрического поля в диэлектрике, при которой в распределении электронов
по энергии появляются высокоэнергети |
|
|
|
|
|
|
ческие хвосты с энергией
большей ширины запрещенной зоны Si02 [43]. Для совпадения
результатов расчета с экспериментальными данными пороговое поле
ударной ионизации в ФСС должно быть > 9,8 МВ/см (см. рис. 2.11, кривые
1, 2, 3).
Анализ модели зарядовой
деградации и сопоставление результатов моделирования с
экспериментальными данными под |
|
|
тверждают, что при
сильнополевой инжекции электронов из кремния импульсами
постоянного тока полевая зависимость кинетики изменения
напряже- |
|
|
ние. 2.11.
Зависимости напряжения сдвига ВАХ МДП-систем от
инжектированного в диэлектрик заряда при различных плотностях тока,
А/см2:
1, 4, 7- 1(г7;
2, 5, 8 - кг6;
3, 6, 9 -
кг5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 137 138 139 140 141 142 143... 734 735 736
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |