Новые материалы
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 123 124 125 126 127 128 129... 734 735 736
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
МДП-структуры позволил
значительно расширить возможности метода постоянного тока. Из зависимости
напряжения на структуре от времени определяются временные зависимости
заряда, инжектированного в диэлектрик, и туннельного тока на всех этапах
инжекции от стадии заряда емкости МДП-структуры до пробоя образца. Из
временных зависимостей тока инжекции и напряжения на образце может
быть получена ВАХ на участке туннельной инжекции, из которой при
построении ее в координатах Фаулера—Нордгейма можно определить высоту
потенциального барьера на инжектирующей границе раздела и толщину
диэлектрика. Минимальный уровень тока полученной ВАХ ограничен точностью
измерений, а максимальный — значением /0. Из временных
зависимостей напряжения на МДП-структуре на стадии инжекции, когда
весь ток, пропускаемый через образец, является током инжекции, определяют
сечения захвата зарядовых ловушек, изменение эффективного заряда
диэлектрика, заряд, инжектированный до пробоя. В области высоких полей
определяется также напряжение микропробоя.
Далее осуществляется инжекция в
диэлектрик требуемой величины заряда, а изменение напряжения на
МДП-структуре (см. рис. 2.8, участок 4)
характеризует явления зарядовой деградации. Затем проводится
ступенчатое уменьшение амплитуды токового воздействия (см. рис. 2.8,
участок 5).
В результате удается измерить ВАХ сразу после сильнополевого
воздействия и получить более полную картину зарядовой деградации
диэлектрика.
На следующем участке
полярность токовой нагрузки изменяют на противоположную и
начинается перезарядка МДП-структуры (см. рис. 2.8, участок 6). Емкость
МДП-структуры начинает разряжаться током постоянной величины.
Временные зависимости напряжения на структуре в области высоких и низких
полей (см. рис. 2.8, участок 7) при разряде емкости позволяла.
2.8. Временные зависимости токов и напря-
ют определять, С
использова-жений в методе управляемой
токовой нагрузки нием рассмотренных методик,
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 123 124 125 126 127 128 129... 734 735 736
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |