Теория, технология и оборудование диффузионной сварки
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 132 133 134 135 136 137 138... 174 175 176
|
|
|
|
Следовательно, при создании предварительного разрежения в трубопровода имеют место вязкостный и молекулярно-вязкостный режимы течения газа. 3. Определяем проводимость высоковакуумаой системы предварительного разрежения. Проводимость трубопровода от рабочей камера до вакуумного затвора Ux = 121 -г1 К* = 121ojo = 0,570 м"/с ¿PО.оОо при /р = /и+ /1Я -f1.3ÍÍJ = 0,2 + 0,2 + 1,3-0,15 = 0,608 м; íp/á¡ = = 0,608/0,16 = 3,8. Проводимость вакуумного затвора Ua cu 0,151/j; ljd1 = 0,12 : 0,16 = 0,75; d?о 16" U, = 0,15-121 ~ Ка = 0,15-121!— 0,30 = 0,446 мя/с. íia0,üo Проводимость участка трубопровода от вакуумного затвора до диффузионного насоса d?о 16S U3 = 121 К,= 121 0.28 = 1,388 м"/с при itjdy = 0,10 : 0,16 = 0,625. Общая проводимость высоковакуумной системы „ _._!_ вв ~ 1/í/i + 1/1/. + = ~ Г^570+~ 1 : 0Д46 + 1 + 1,388=а2,2аЯ/с Приведенная длина трубопровода предварительного разрежения от камеры до клапана /р ==./„+ /28 + Ша = 0,6 + 0,2 + 1,3-0,032 = 0,84 м; íp/ds = 0,84 : 0,032 = 26,3. Проводимость при молекулярном режиме j3 diо оз?8 Í/M = 121 ji К, = 1210,93 = 0,0044 м"/с. Для расчета проводимости в вязкостном режиме разобьем диапазон давлений от 38,75 до 6,5 Па на участки: I — от 38,75 до 20 Па; II — от 20 до 10 Па; III — от 10 до 6,5 Па. На участке I рг + р2 = 38,75 + 20 = 58,75 Па, на участке II рг + р2 = 20 + 10 = 30 Па, на участке III рг + р2 = 10 + 6,5 = 16,5 Па. Входящую в формулу для определения проводимости трубопровода величину газового потока можно приближенно найти по формуле Q — 5ЭфР. где 5Эф = KaSB (р); р — среднее давление. Величина SH (р) определяется по характеристике вяну у много насоса. Для участка I р = (р, + р8)/2 = 58,75 : 2 29,375 Па; S„ (29,375) = = 5-10~s м^с, S8a = 0,8-5-Ю4 = 4-10-" mVc; Q = 4-Ю"3-29,375 = 0,1175 м*Х X Па/с. Для участка II р = 30 : 2 = 15 Па; Sa (15) = 3-10"" м"/с, Sa$ = 0,8-ЗХ X 10-" = 2,4-10~8 що/с, О = 2,4-10-"-15 = 0,36 м5-Па/с. Для участка Ш р = 16,5 : 2 = 8,25 Па, 5Я (8,25) = 2 -10~" м'/с, БаЛ = = 0,8-2-Ю-3 = 1,6-10-я м"/с, С = 1,6-10-3-8,25 = 0,013 м"-Па/с. Ф Для вязкостного режима проводимость участка I 6804(р,+р2) и п7 —---/р(Ц-2,15.10-^/гр) 680-0,032". 58,75__ : 0,84 (1 + 2,15-10-3-0,1175 : 0,84) ~ ' М 'с; участка II /;680-0,032".30„ „„^ U*u * 0,84(1+ 2,15-10-".0,036 : 0,84) = °'0255 м /с' участка III „680-0,032". 16,5____п . "ВІ11 = 0,84(1+2,15.10-8.0,013:0,84) = °'°140 М /с" Для молекулярно-вязкостного режима проводимость участка I ^вмі = Uxub + Uві = 0,0044-0,9 + 0,0499 = 0,0539 м3/с; участка II UBM и= 0,0044 0,9 + 0,0255 = 0,0295 м"/с, участка III' Увм Ш= 0,0044 0,9 + 0,0140 = 0,0180 м"/с. Аналогично находим проводимость вакуумного клапана я части трубопровода от клапана до форвакуумного насоса. Затем определяем проводимость системы предварительного разрежения: для участка І і/т = 0,0384 м8/с, для участка // L/ц — 0,0212 м3/с, для участка III 1/Пт= 0,0129 м3/с. Проводимость трубопровода, соединяющего основной и вспомогательный насосы, определяют с учетом того, что давление запуска диффузионного насоса р3 = 26 Па, давление на входе во вспомогательный насос р = (0,7-j-0,75) р3 = = 0,7-26 = 18,2 Па. Следовательно, в соединительном трубопроводе имеет место молекулярно-вязкостный режим. Найденная проводимость соединительного трубопровода U0 — 0,1203 м*/с. 4. Определяем быстроту откачки рабочей камеры для высоковакуумной системы с .. SBUCS0.5-0,212 п.,яо.,3, 5а* = SH-+U= 0,5 + 0,212 = °'1489 М3/С: для системы предварительного разрежения 5Ю-3-0,0384 Se* 1 = 510-а + 0,0384 = 4,424•10"8 М"/С: _3-Ю-3-0,02121Л. 5эфП = 3-Ю-3+ 0,0212 = 2,628•10 М /с; -,2-10-3.0,0129 _00 5эФш = 2-10-3 + 0,0129 = 1'732'10 М /с; для соединительного трубопровода с^нв^с3-Ю-з-0,1203 qû4_ S&* " SaB + ^c = 3-10-^ + 0.1203 = 2,92?-10 * 270 271
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 132 133 134 135 136 137 138... 174 175 176
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
