Теория, технология и оборудование диффузионной сварки
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 124 125 126 127 128 129 130... 174 175 176
|
|
|
|
7 2 З ї 5 В Рис. 10.25. Характеристики турбомоле Рис. 10.26. Схема ежекторного насоса кулярных насосов к секции, двигаясь от входного патрубка к выходному. Зазор между роторными и статорными кольцами может составлять 1,0— 1,2 мм, что обеспечивает необходимую надежность работы турбо-молекулярного вакуумного насоса. Опоры вала ротора выполняются в виде подшипников качения, на магнитных подвесах или газовой подушке. К достоинствам турбомолекулярных насосов относятся практически полное отсутствие загрязнения вакуумной камеры парами и продуктами крекинга масла, широкий диапазон рабочих давлений. Так как давление запуска турбомолекулярного насоса меньше атмосферного, требуется установка вспомогательного насоса. Основные характеристики турбомолекулярных насосов приведены на рис. 10.25, а их технические характеристики — в табл. 10.5. Эжекторные и диффузионные насосы. Эжекторный и диффузионный насосы относятся к пароструйным насосам. Эжекторный насос (рис. 10.26) представляет собой цилиндрический корпус 3 с впускным 1 и выпускным 6 патрубками. В нижней части корпуса смонтирован кипятильник 5, а на выходном патрубке расположен холодильник 5 в виде водоохладитель-ной трубки. В корпусе насоса установлен паропровод со сверхзвуковым эжекторный соплом Лаваля 2. За соплом Лаваля имеется теплоизолированная от корпуса камера смешения 4, а выходной патрубок соединен с нижней частью корпуса трубопроводом 7. Залитое в насос вакуумное масло нагревается кипятильником 8, пар по паропроводу 9 поступает в сопло Лаваля 2 и со сверхзвуковой скоростью выходит из него. При этом в камере смешения молекулы газа, находящиеся в пограничном с паровой струей слое, получают количество движения от паровой струи и за счет внутреннего трения увлекают другие слои газа. в холодильнике 5 масло конденсируется на стенках и по трубопроводу 7 стекает обратно в кипятильник. 254 Рис. 10.27. Схемы одноступенчатого (а) и многоступенчатого (б) диффузионных насосов На рис. 10.27, а приведена схема простейшего одноступенчатого диффузионного насоса. Как и эжекторный, этот насос выполнен в виде цилиндрического корпуса 1 с впускным 2 и выпускным 6 патрубками. В нижней части корпуса расположен кипятильник 7, холодильник 4 в виде водоохлаждаемой трубки установлен на стенках корпуса. Внутри корпуса размещен паропровод 5 с диффузионным соплом 3. В отличие от эжекторного в диффузионном насосе молекулы газа диффундируют внутрь паромасляной струи после ее выхода из сопла 3, но перед попаданием на стенку корпуса /, где и происходит конденсация масла. Диффузионные насосы, работающие в интервале рабочих давлений Ю-1—10 Па, называются бустерными. Их устанавливают между механическим форвакуумным и высоковакуумным насосами в целях предотвращения попадания масла из форвакуумного в высоковакуумный насос. На рис. 10.27, б показана схема высоковакуумного многоступенчатого пароструйного насоса с двумя диффузионными 1 и 2 и эжекторной 3 ступенями откачки. Все ступени питаются от одного кипятильника 4. У диффузионных насосов Кш " 0,5. Такие насосы имеют низкое рабочее давление, а также, вследствие наличия эжекторной ступени, более высокое давление запуска. Основные характеристики диффузионных насосов приведены на рис. 10.28, а их характеристики — в табл. 10.6. Для получения требуемого давления запуска высоковакуумного насоса, которое ниже атмосферного, требуется насос предва 255
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 124 125 126 127 128 129 130... 174 175 176
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
