Технология упрочнения. Технологические методы упрочнения. В 2 т. Т. 1.
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 158 159 160 161 162 163 164... 412 413 414
|
|
|
|
322 • распыление сплавов медь-кремнии, медь-олово-марганец, 1 а никель, а также меди и молибдена. Покрытия осаждались т медные полированные пластины. При расстоянии между мишенью и подложкой в 60 мм •фиксированы максимальные скорости осаждения меди 1,5 М"м/мип, молибдена 0,4 мкм/мин, сплавов титан-никель 0,75 И"м/мин, медь-кремний 0,7 мкм/мин, медь-олово-марганец -Ö,f мкм/мин. Гнгрдостъ покрытий, полученных магнетровным методом, (Имчитсльно превышает твердость соответствующих массивных Jim (риалов. В результате измерений микротвердости покрытий опийной более 30 мкм с помощью прибора ПМТ-3 (нагрузка •I г) получены следующие значения: сплав титан-никель 5000 Па, сплав медь-олово-марганец 2500 МПа, сплав медь-крем-ft 4000 МПа, молибден 4500 МПа. Результаты относятся температуре подложки 200°С. Прочность сцепления исследованных покрытий с основой восходит все критерии, известные для соответствующих Тсриалов, получаемых методом испарения и конденсации в кууме. Ьудучи осажденными на неподогретые подложки, покрытия сплава медь-олово-марганец толщиной 70 мкм допускали •следующую обработку их поверхности механической полиров-ий, причем не наблюдалось даже частичного отслоения покры-ии. Такие же результаты получены при осаждении сплавов #дькремний и титан-никель, а также чистого молибдена на !йодложки, нагретые до 100-200°С. Отсутствие шероховатости свободной поверхности покрытия 1мечено как основное отличие ее структуры от структуры [Поверхности вакуумных конденсаторов. При толщине слоев до 7(1 мкм и более все покрытия обладают металлическим блеском. Так, установлено, что отражающая способность поверхности сплава титан-никель, нанесенного на полированную медную подложку, находится на уровне значений, характерных для оптически полированного никеля, для всех рассмотренных материалов характерно сходное ячеистое строение поверхности покрытий с различием только в размере ячеек. Опыт работы с устройством магнетронного типа показал наличие существенных, й но ряду показателей решающих, преимуществ метода по сравнению с известными термовакуумными (электронно-лучевым, (ммистивным, индукционным испарением). Разработка магнетронных распылительных систем создает возможность не только автоматизировать процесс производства йеркал, но и существенно улучшить их качество. 323
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 158 159 160 161 162 163 164... 412 413 414
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
