Технология упрочнения. Технологические методы упрочнения. В 2 т. Т. 1.
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 155 156 157 158 159 160 161... 412 413 414
|
|
|
|
составляла 0,8 мм/с. При этом разряд стабильно горит при давлении 10"2 Па, т.е. на порядок более низким, чем при распылении из твердой фазы. В настоящее время известно много конструктивных вариантой магнетронных распылительных систем, но наибольшее распрост ранение в промышленности получили системы с конической и плоской мишенями. Магнетронное распыление широко применяется как у нас и стране, так и за рубежом. Разработаны и освоены магнетронные распылители и систем 1.1 обеспечения их работы трех типов: 1)планарный распылитель с круглым катодом (МРК-10/160); 2)планарный распылитель с прямоугольным катодом (МРП 30-160/600). 3)распылитель с цилиндрическим катодом (МРЦ-20-65/1000); В числителе указана максимальная мощность в кВт, в знаменателе параметры катода. Рабочее давление аргона во всех трех распылителях =0,1-1 Па. Электрические и энергетические характеристики распылителей представлены в таблице 3.4 и 3.5. Таблица 3.4 Электрические характеристики РС Таблица 3.5 Вид РС Диапазон рабочих давлений. Па Диапазон рабочих напряжений, хВ Диапазон энергий бомбардирующих ионов Е 10-16 Ч.6 дж. Диапазон значений ионного тока Іі, а Мощвость. подводимая к системе, хВт Коэффициент преобразования подводимой к системе мощности р ГУЛ? Диодная на постоянном токе 1,3-13 3,0-5,0 2.0-3.5 0,5-0,8 2,0-5,0 0,5-0,6 ВЧ диодная 0,6-6,6 Амплитудные значения 1,0-2,0 0,7-1,5 1,0-2,0 3,0-5,0 0,2-0,6 Магнетрон-ная на постоянном токе (1,3-6,6) 10-1 0,4-0,8 0,3-0,5 15-20 8-15 0,6-0,7 ВЧ магнетронная (1,3-6,6)10-1 Амплитудные значения 0,7-1,0 0,5-0,7 2,0-4,0 3,0-5,0 0,3-0,6 1111 I ПК.. „..^ .---Созданные конструкции применимы при распылении алюми-МИ*, меди, латуни, антикоррозионной стали, титана. Технические характеристики некоторых типов магнетронных распылителей при распылении различных металлов и сплавов в тіблице 3.6. Таблица 3.6 Технические характеристики РС распыляемый материал Характеристика Алюминий Медь Латунь П^аметт^разряда диодной распылительной^истемы Сила тока, А напряжение, В давление, Па скорость конденсации на расстоянии 100 мм, мкм/мин 40 540 0,4 1,0 2,4 3,0 0,7 0,6 Параметры разря^магнетр^^ ►--------1 .„ \ іа38 Гила тока, А напряжение, В давление, Па скорость конденсации на расстоянии 100 мм, мкм/мин 0,14 0,30 0,31 0,17 0,11 316 ИМ мм, мьм/дщ"I' V„317
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 155 156 157 158 159 160 161... 412 413 414
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
