Технология упрочнения. Технологические методы упрочнения. В 2 т. Т. 1.
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 148 149 150 151 152 153 154... 412 413 414
|
|
|
|
Широкое разнообразие конструкций испарителей обусловлено многими факторами, которые необходимо учитывать при выборе способа напыления и режимов процесса. В частности, применение того или иного испарителя определяется: -химической природой испаряемого материала; -температурой и скоростью испарения; -постоянством во времени; -исходной формой испаряемого материала (монолит, порошок, проволока и др.); -качеством загрузки; -диаграммой направленности парового потока; -длительностью процесса напыления и т.д. Наиболее просты в изготовлении и эксплуатации испарители резистивного типа с прямым нагревом. Их выпускают промышленным способом, и они имеют самые разнообразные формы и размеры. Широко применяются также резистивные испарители с косвенным нагревом распыляемого материала. В таких устройствах отсутствует непосредственный контакт между резистором и испаряемым материалом. Наибольшее распространение получили испарители тигельного типа с наружным резистивным нагревом. К достоинствам таких испарителей следует отнести высокую производительность процесса и стабильность температуры испаряемого материала. Большой интерес представляют сублимационные испарители с косвенным нагревом. Достоинством таких испарителей является полное отсутствие контактирования испаряемого материала. Сублимационные испарители отличаются невысокой производительностью, пригодны только для ограниченного количества испаряемых материалов. Испарители с ВЧ-индукционным нагревом, в основном, состоят из тигля и расположенного по наружной поверхности индуктора. Для расширения возможностей метода наряду с однотигель-ными испарителями применяют и многотигельные. В этих случаях используют различные схемы индукторов. Наибольшее распространение в практике напыления покрытий получили электронно-лучевые испарители. В настоящее время в испарителях получили распространение два типа электронно-лучевых пушек: аксиальные, формирующие осесимметричный поток электронов; плосколучевые, преобразующие первоначальный плоский пучок электронов в цилиндрический. *¡1" 302 Установки для вакуумного напыления покрытий термическим тип рением. Применяют несколько типов, различающихся между ишой способом нагрева испаряемого материала. Это установки г резистивными, электронно-лучевыми и ВЧ-индукционными ж мирителями. Установки с резистивным нагревом получили достаточно широкое применение в практике напыления покрытий различного Ийяначения. Мощность источников питания резистивных нагревателей иктавляет до 20 кВт. Установки электронно-лучевого напыления покрытий предъявляют собой достаточно сложные и энергоемкие агрегаты, итсчитанные на непрерывную работу в течение 10-15 ч и более. Л пашей стране разработан ряд промышленных и эксперимента ммгых установок с электронно-лучевыми испарителями. Из них ипиболыпее распространение получили установки УЭ-137 и У')-175, разработанные в ИЭС. Многотигельный испаритель с линейным расположением источников позволяет напылять композиционные, жаростойкие, теплозащитные и другие покрытия. Предварительный электронный нагрев изделий осуществляется во вспомогательных камерах, расположенных по обе стороны от рабочей камеры. Предусмотрена автоматическая система контроля и управления технологическим процессом испарения на бйзе мини-ЭВМ. Для напыления покрытий электронно-лучевым испарением крупногабаритных тел вращения диаметром до 2,5 м и высотой до 2 м созданы установки типа УТН. Наметились тенденции к оснащению электронно-лучевых испарителей устройствами для ионизации потока пара. Установки с электронно-лучевыми испарителями получили большое распространение для напыления конструкционных покрытий на различные изделия электронной техники. В частности, широко известны установки УВН-73П-5; УВН-83-1-, "Лада-5" и др. В них использованы цилиндрические горизонтальные камеры с держателями напыляемых изделий барабанного типа и вертикальные колпаковые камеры с транспортирующими устройствами карусельного" типа. К ионно-термическим системам нанесения покрытий относятся и системы, реализующие так называемые ионно-кластерный и в меньшей мере автоэмиссионный методы. Ионно-кластерный метод заключается в конденсации ионизированного потока многоатомных частиц (кластеров). Испаряемое вещество помещается в разогреваемый тигель, в котором для пыхода потока молекулярного пара в вакуум имеется одно или несколько отверстий (сопел) малого диаметра. Кластеры образу ^,303
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 148 149 150 151 152 153 154... 412 413 414
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
