Лазерная и электроннолучевая обработка материалов
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 82 83 84 85 86 87 88... 494 495 496
|
|
|
|
сеянных электронов в пучок не происходит); возрастает угол раствора пучка в веществе в результате углового разброса направлений движения электронов (при угле раствора пучка а я/2 движение электронов в среде предполагается диффузным, т. е. равновероятным во всех направлениях) {4]. Для этих условий при расчете принято, что изменение энергии электрона подчиняется закону непрерывных потерь Бете, Изменение направления движения электрона определяется сечением упругого рассеяния Резерфорда, а неупругими столкновениями пренебрегают. Принято также, что после прохождения в среде элементарного пути Д5 электроны в пучке изменяют первоначальное направление своего движения на средний угол Да, что приводит к увеличению угла раствора пучка а (5 + -\Д5) на ту же величину, т. е. а{Б+ Л5) — а (5) = Да. Число электронов йп, рассеянных в материале в телесном угле й£1 на пути от в до в + ей, определяют с помощью формулы Резерфорда йп = [геЧАЕ (Б)] п (Б) X X N йБ сИй! Ып4 (Ф/2) ], (3.17) где 2 — атомный номер; е — заряд электрона; Ф — полярный угол. Закон непрерывных потерь энергии электронов по Бете выражается уравнением йЕ1йБ = [2т*Ыг1Е (5)] X X 1п [2Е (8)11],(3.18) где N — число атомов в 1 см3; / = = 10,5 2 эВ — средний потенциал ионизации. Число электронов пучка, рассеянных в направлении к поверхности, после прохождения элементарного пути ей, соответствующего средней потери энергии йЕ, определяют, заменив ей в формуле (3.17) ее значением из уравнения (3.18) н интегрируя по азимутальному углу ф в пределах 0 ^ ф ^ 2я и поляр ному углу Ф в пределах я/2 ^ Ф ^ я, по выражению Л"= (-§-) [я(5)/£(5Л X X ЫЕЦШЕЦМ, (3.19) где п (5) и Е (5) — число и энергия электронов, прошедших в веществе путь 5. Число электронов п с энергией Е, прошедших путь в материале 5, получают интегрированием уравнения (3.19): • (£) = Г, 2Е(Б) К . 2Е„ \12/8 (3.20) где п0 — число первичных электронов; Е0 — начальная энергия электронов. Связь между энергией электрона Е (5) и 5 получают интегрированием уравнения (3.18): 5 = Е, 1 X 1 ' 2пе*Ыг Е йЕ Іп(2Е//і) Е1 (2£„//) 1п (2Е/1{) •] (3.21) Среднее приращение угла рассеяния электронов пучка Да на элементарном пути Д5 определяют как 5+Д5 я 2я /5-|-Д5 я 2Я дф а дф о (3.22) После преобразований из уравнений (3.21) и (3.22) получают угол раствора а пучка электронов с энергией Е (5): = 7/8 1п їй2 (а/4) = 2£0 1п\п(2ЕЦі) J . (3.23)
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 82 83 84 85 86 87 88... 494 495 496
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
